NW25法兰真空不锈钢316过滤网支架密封圈件兼容真空接头配件

 KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统，特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程有效提升产品产量和设备吞吐量。在规范安装及操作条件下，可确保产品完整性达3,000,000次循环。该过滤器广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各类真空室(装载锁、传输、冷却、工艺腔体)的通风，适合短时间内传递大量气体流的场合。

产品特点

1、减少工艺腔体排气时的湍流

2、适用于多种工艺气体

3、洁净室环境内制造、测试、包装

4、100% 完整性测试通过