MSF 316L不锈钢垫片式过滤器_密封超纯净接头垫片

 恒歌MSF系列仪器保护专用过滤器，全金属材质，专为半导体气体分配系统设计，兼容1/4”、3/8”及1/2′标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装，是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400°C环境下，能有效阻隔微粒侵袭，守护敏感气体组件，延长设备寿命，预防因微粒污染导致的泄露风险。可选择低压型或高压型，也可在现有配管上安装，为精密设备提供经济高效的防污屏障。

技术参数

● 过滤精度:3nm~60um(支持定制)

● 材质:316L不锈钢

● 密封方式:面密封

● 表面粗糙度:≤0.2um

● 耐温范围:最高可达400°C

● 接口规格:1/8″、1/4″、3/8″、1/2″、3/4″、1″

● 适用介质:高纯气体、特种气体、惰性气体、工艺气体

定制服务:

● 过滤精度定制

● 尺寸规格定制

● MFC专用过滤垫片定制

● 精密阀门专用过滤垫片定制

典型应用场景

● 质谱仪进气口

● 残余气体分析仪（RGA）进气口

● 在线气体分析仪采样管路前端

● 调压阀入口上游

● 减压器入口上游

● 气柜（Gas Cabinet）内部管路

● 阀门分配箱（VMB）分配管路中

● 气体分配歧管与调压阀之间

● MFC入口上游（紧邻MFC）

● 气相色谱仪（GC）载气入口前级

● 氧传感器进气口

● 湿敏传感器进气口

● 在线监测探头前端

● 传感器进气口前端

● 探头进气口前端

● 工艺气体采样管路中

● 扫描电镜（SEM）供气入口

● 透射电镜（TEM）供气入口

● X射线光电子能谱仪（XPS）供气入口

● R&D设备气体管路前端

产品优势：

1、3纳米级过滤精度：

金属粉末烧结技术实现3nm颗粒拦截，覆盖3nm–120μm跨尺度过滤。国内常规精度为0.1μm，恒歌3nm突破纳米级控制，稳定适配7nm及以下先进制程超高纯气体过滤

2、高难度复杂复合结构：

支持多层异质烧结、异形结构、集成连接器等复杂定制，同一元件实现梯度孔径与冶金结合。累计30,000+案例，覆盖基础滤片到复杂复合型过滤器，具备高难度量产能力。

3、全焊接与EP级表面处理：

全焊接结构+EP电解抛光，内表面Ra≤0.25μm，He泄漏率<1×10^-9 Pa·m³/s，满足半导体级气密性要求，杜绝金属离子析出与微粒释放。