高纯度多孔金属限流器_气体高流量过滤器100%氦气测试
RF系列多孔金属限流器采用高纯316L不锈钢烧结技术制造，适用于高压、高流量、超高纯气体输送系统。当气体管线破裂、阀门异常或调压器失效时，它能自动限制过量气体瞬间喷出，有效保护气路系统安全，避免工艺中断或设备损坏。
● 通用于半导体、光电、氢能源、工业气体、真空系统等高要求工况
● 安装于VCR接头、压缩气体管路、气体分配歧管中
● 支持≤9N(99.9999999%)高纯气体
● 抗堵塞、无需维护，可定制不同流量
2. 产品结构与工作原理
● 内部为烧结多孔金属结构，形成精密气阻通道
● 正常运行：气体平稳通过，形成层流
● 管路破裂/瞬时压力骤降：气体迅速通过限流器被限制输出，保护后端系统
● 过滤+限流双功能，不产生颗粒污染
3. 产品特点
| 结构紧凑 | 结构紧凑，占用空间小，可直接安装于VCR 1/4~1/2接口 |
| 可定制流量 | 通过更换限流芯/气阻配件，可调节不同流量（1~5000 sccm） |
| 控制稳定 | 流量控制精准可靠，适用于稳定与突变环境 |
| 高温高压可用 | 适用于 ≤500℃、≤30 MPa 环境，耐高温不变形 |
| 不堵塞 | 多孔结构均匀分布，确保气体层流，不易堵塞 |
| 材料安全 | 316L不锈钢，颗粒脱落 <0.003 mg/m³，通过100%氨气泄漏测试 |
| 寿命长 | 烧结结构无焊点、不老化，寿命长 |
4. 应用行业与典型场景
● 半导体气体输送(硅烷、氨气、氢气、氩气)
● 光伏薄膜沉积、OLED镀膜设备
● 高纯气体钢瓶压力调节保护
● 氢燃料电池系统安全防泄放
● 真空腔体气体缓释、排气系统限流
5. 技术规格参数
| 滤芯材质 | 316L不锈钢粉末烧结 | 壳体材质 | 316L不锈钢 |
| 流量范围 | 0.1sccm~40slpm | 最大工作压差 | 1500psig |
| 精度 | +7.5% Base | 可重复性 | ±0.1% |
| 最高使用温度 | 460℃ | 氦气泄漏率 | 1×10-9cc/min |
| 密封面尺寸 | 1/4″‘VCR |
6. 常见问题（FAQ）
Q1：限流器和过滤器有什么区别？
A：限流器侧重限制瞬时气体泄放量，防止爆冲;过滤器用于去除颗粒，两者可合一结构存在。
Q2：可以用于氨气、硅烷这种腐蚀性或易燃气体吗？
A：可以，材料为316L或镍基合金，提供特殊抛光与清洗处理，满足半导体级气体要求。
Q3：堵塞后是否可以清洗？
A：支持超声波清洗或氮气反吹，大多数情况下无需更换。
立即联系我们—获取报价与流量定制！
