DF系列400°C高温超纯气体扩散器丨半导体真空腔体气体过滤器
深圳恒歌DF系列高温超纯气体扩散器，专为半导体高温制程中的真空腔体放气需求打造。这款产品凭借全316L不锈钢的耐高温特性与0.003μm的精密过滤能力，在400℃高温环境下仍能保持稳定性能，既实现超纯气体的均匀扩散，又杜绝颗粒污染，成为气相沉积、高温蚀刻等严苛工艺的理想选择。
产品特点
● 高温稳定运行：全 316L 不锈钢结构，可耐受 400℃高温，适配各类高温工艺场景。
● 超纯气体保障：过滤精度达 0.003μm，配合洁净室生产流程，确保气体纯度。
● 防湍流扩散设计：融合扩散器气流特性，引导气体平稳流动，避免腔体污染。
● 全材质防腐：耐酸碱与腐蚀性工艺气体，延长设备使用寿命。
● 定制化适配：可根据腔体尺寸与安装空间个性化设计，提升适配性。
| 扩散器过滤器技术参数 | ||||
| 滤芯材质 | 316L不锈钢粉末烧结 | 壳体材质 | 316L不锈钢 | |
| 表面处理 | 内表面 Ra ≥32μm | 过滤精度μm | ≥0.003 可按需定制 | |
| 最大进气压力 | 4bar | 最大工作压差 | 5bar | |
| 最高使用温度 | 400°C | 下游洁净度 | <0.03particles/liter @>0.01ym rated flow |
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应用场景
应用于半导体高温工艺的真空腔体系统：在 CVD 化学气相沉积设备中，保障高温下工艺气体的超纯与均匀扩散，提升薄膜质量;在高温退火炉的真空排气环节，防止颗粒污染晶圆表面;在离子注入后的真空释压过程中，维持腔室洁净环境。同时适用于光伏行业的高温镀膜设备及半导体封装的高温固化腔体，为各类高温真空工艺提供可靠的气体扩散与过滤保障。
