316L外壳快速进气扩散器丨0.003μm管式气体扩散器过滤器
深圳恒歌DF系列316L外壳快速进气扩散器，重新定义了半导体制程中真空腔体的放气标准。这款产品以全316L不锈钢为结构基础，融合快速进气扩散与0.003μm精密过滤技术，在实现毫秒级排气速度的同时，彻底解决了高速气流带来的湍流污染问题，为半导体制造的高效与洁净提供双重保障。
产品特点
● 极速进气扩散：优化流道设计，实现气体快速流通，提升腔体放气效率。
● 316L 全钢结构：耐高温、耐高压且耐腐蚀，适配各类恶劣工艺环境。
● 纳米级过滤：过滤精度达 0.003μm，有效拦截超细微颗粒，保障洁净度。
● 防湍流技术：特殊结构引导气流平稳流动，避免颗粒扬起与硅片损伤。
● 灵活定制：可根据安装空间调整尺寸，适配不同腔体与气路布局。
| 扩散器过滤器技术参数 | ||||
| 滤芯材质 | 316L不锈钢粉末烧结 | 壳体材质 | 316L不锈钢 | |
| 表面处理 | 内表面 Ra ≥32μm | 过滤精度μm | ≥0.003 可按需定制 | |
| 最大进气压力 | 4bar | 最大工作压差 | 5bar | |
| 最高使用温度 | 400°C | 下游洁净度 | <0.03particles/liter @>0.01ym rated flow |
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应用场景
广泛应用于半导体制造的高节拍生产线：在晶圆自动传输系统的真空互锁腔中，实现快速放气与进气的高效切换;在光刻设备的晶圆载台腔中，保障气流稳定以提升对准精度;在蚀刻机的批量处理腔中，通过快速排气缩短工艺周期。同时适用于半导体设备制造商的真空腔体测试系统及研发实验室的小型真空装置，为各类快速放气需求提供定制化解决方案。
