半导体级终端气体过滤器_大宗氢气终端过滤器
在半导体制程的超高纯工艺气体在线过滤领域,BF 系列半导体级终端气体过滤器无疑是行业标杆。它专为严苛的超高纯工艺气体环境设计,采用全 316L 不锈钢精密打造,从材质上就奠定了其卓越的耐腐蚀、耐高温性能,完美适配高温动态环境。
其独特的多柱状或叠盘状介质设计,是实现高流通量与低阻损平衡的关键,既能保证气体顺畅通过,又能高效拦截微粒,过滤精度高达 0.003μm,轻松满足超高纯工艺对气体洁净度的极致要求。
产品核心特点:
● 全 316L 不锈钢构造,适配严苛环境
● 高流通量低阻损,保障系统高效运行
● 0.003μm 超高精度,拦截细微杂质
● 耐受高温高压,适应动态工艺条件
● 洁净室全流程管控,确保无二次污染
作为终端高纯气体过滤器的佼佼者,BF 系列经过 100% 完整性测试和氨气检漏测试,为半导体制程中的超纯特气过滤提供了坚实保障,是超高纯工艺气体过滤的理想之选。