大宗气体过滤器

 

大宗气体专用过滤器丨工业气体过滤器OEM制造商

 

恒歌BF系列大宗气体专用过滤器、专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计、采用全316L不锈钢精密打造、多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损、过滤精度高达0.003μm、满足超高纯工艺需求。整体金属构造、是高温动态环境下的理想过滤解决方案。

 

产品特点

● 整体316L不锈钢结构

●  高通量、低阻力

●  超高颗粒拦截率

● 耐高温、耐高压、耐腐蚀

●  适用于多种工艺气体

● 适用于洁净室环境内制造、测试、包装

●  100%完整性测试

●  100%氨气检漏测试

 

具体应用

1、半导体制造：用于去除气体中的微尘、化学气体和挥发性有机物等杂质，保证生产环境和工艺过程的稳定性，提高芯片良率.

2、制药生产：确保药品生产过程中使用的气体无菌、无杂质，防止药品受到污染，满足药品质量标准.

3、食品饮料加工：去除气体中的异味、杂质和微生物，保证食品饮料的口感、品质和保质期.

4、电子元件生产：防止气体中的杂质对电子元件造成污染，提高产品的性能和可靠性，降低次品率.

5、化工反应：提高反应的转化率和选择性，减少副反应的发生，降低生产成本，提高生产效率.

6、航空航天设备运行：保障气体的纯度和质量，确保航空航天设备的安全运行和各项系统的正常工作。

 

 

 

技术参数

 

滤芯材质 316L不锈钢粉末烧结 壳体材质 316L不锈钢
最大进气压力 207bar 最大工作压差 5.2bar
氦气验证泄漏率 2×10-10cc/min 氦气测试泄露率 1×10-10cc/min
表面处理 外表面 Ra < 1.6μm 最高使用温度 惰性气体 400-500°C
内表面 Ra < 0.2μm 腐蚀性气体，反应气体 50°C
颗粒拦截效率 ≥99.9999999%(9LRV)@30slpm 下游洁净度 ≥0.03particles/liter
@>0.01um，30slpm
颗粒拦截粒径 ≧0.003μm    

 

常见问答

 

1. 这款大宗气体专用过滤器的材质为什么选择 316L 不锈钢?​

答：316L 不锈钢具有优异的耐腐蚀性、无杂质释放特性，能避免材质本身对超高纯工艺气体造成污染，完全契合半导体、制药等行业对气体输送材质的严苛要求，从源头保障工艺气体纯净度，是该类高洁净场景下的理想材质选择。​

 

2. 过滤精度高达 0.003μm，能具体去除哪些杂质?​

答：0.003μm 的超高过滤精度，可高效拦截气体中的微尘颗粒(如粒径超 0.003μm 的粉尘、金属碎屑等)、部分化学气体杂质(如小分子有害化学物质)以及挥发性有机物等，能满足半导体制程超高纯工艺、制药无菌生产等场景下，对气体中微量杂质的深度去除需求。​

 

3. 高通量低阻损的设计，对实际生产有什么帮助?​

答：高通量设计可确保气体在过滤过程中保持较高的输送量，满足工业生产中对气体流量的需求，避免因过滤环节导致生产效率下降;低阻损特性则能减少气体输送过程中的能量损耗，降低配套气体输送设备的运行负荷，同时避免因阻力过大影响生产流程的稳定性，助力企业实现高效、节能的生产运行。​

 

4. 该过滤器能承受的最高温度、压力是多少?​

答：这款过滤器具备出色的耐高温、耐高压性能，具体耐受参数会根据不同型号略有差异(可参考对应型号产品规格书)。整体而言，其设计可适配多数工业高温动态环境(如常见半导体工艺高温工况)和高压气体输送场景，能稳定承受行业内主流严苛工况下的温度与压力，具体使用时可根据实际生产环境需求选择对应适配型号。​

 

5. 为什么要在洁净室环境内完成制造、测试和包装?​

答：半导体、制药等目标用户的生产场景对气体过滤器的洁净度要求极高，若过滤器在制造、测试或包装环节接触外界污染物(如灰尘、微生物等)，会导致过滤器本身携带杂质，后续使用时可能污染工艺气体，影响生产质量。在洁净室环境内完成全流程操作，可确保过滤器出厂时自身洁净度达标，交付后用户无需额外清洁，可直接投入高洁净要求的生产环节，降低使用风险。​

 

6. 100% 完整性测试和氨气检漏测试，能起到什么作用?​

答：100% 完整性测试可验证过滤器的过滤介质是否存在破损、孔隙等问题，确保其过滤性能符合设计标准，避免因过滤介质缺陷导致杂质泄漏;100% 氨气检漏测试则能精准检测过滤器的密封性能，排查是否存在泄漏点，防止工艺气体在输送过程中因泄漏造成浪费或污染环境，双重检测可全面保障每台过滤器的质量，让用户使用更放心。​

 

7. 在食品饮料加工场景中，该过滤器能解决什么问题?​

答：在食品饮料加工中，该过滤器可有效去除气体(如用于保鲜的惰性气体、生产过程中使用的压缩空气等)中的异味、杂质(如粉尘、油污)和微生物，避免这些污染物影响食品饮料的口感和品质，同时防止微生物滋生导致产品变质，助力企业满足食品饮料行业的质量安全标准，延长产品保质期。​

 

8. 使用这款过滤器，能为企业生产效益带来哪些实际提升?​

答：一方面，通过精准去除工艺气体中的杂质，可减少杂质对生产环节的干扰，例如在半导体制造中能提高芯片良率，在电子元件生产中可提升产品可靠性、降低次品率，直接减少因产品不合格造成的成本浪费;另一方面，其高通量低阻损设计不影响生产效率，耐极端环境特性可减少设备故障停机次数，间接降低生产运维成本，综合助力企业提升生产效益。

 

恒歌大宗气体过滤器拥有多种规格型号可供选择，更支持 OEM 定制服务。我们能根据您的项目实际需求，从过滤介质设计、结构优化到性能参数调整，全方位为您量身设计生产，确保每一台过滤器都能精准匹配您的应用场景，为您的项目提供最专业、高效的过滤解决方案，助力您的生产流程稳定高效运行！