真空卡环不锈钢过滤器_KF16 真空卡环

KF16 真空卡环尺寸适配性强，安装便捷，能快速与过滤器及真空设备对接，缩短系统组装时间。搭配过滤器使用时，可实现清洁、低湍流的回填过程，提升产品产量与设备吞吐量，规范操作下产品完整性达 3.000.000 次循环。​

产品特点​

● 减少排气湍流：配合过滤器特殊结构，保障工艺腔体排气稳定;​

● 适配多类气体：兼容半导体及工业常用气体，无需频繁更换;​

● 洁净全流程：卡环与过滤器同属洁净室制造、测试、包装，确保洁净度;​

● 100% 完整性检测：出厂前严格测试，保证连接与过滤可靠性。​

应用上，广泛适配小型半导体设备接口(如小型 CVD、Etch 设备)及小型真空室(装载锁、冷却腔体)通风，适合短时间传递中少量气体流的场景，满足中小型真空系统高精度需求。