三通接头过滤器_316L不锈钢卡套过滤器T型三通
在半导体气路系统中，气路分支处的气体分配与净化往往需要额外设备配合，不仅增加了系统复杂度，还可能导致压力损失与净化效率下降。深圳恒歌推出的三通接头过滤器，将 “三通分配” 与 “高效过滤” 功能集成一体，为半导体气路分支场景提供简洁、高效的净化解决方案。
该过滤器采用三通结构设计，可直接接入气路分支节点，在实现气体分流的同时完成净化处理，无需额外添加管道与接头，大幅简化了气路系统结构，减少了泄漏风险点。其整体 316L 不锈钢材质赋予设备出色的耐高温(-28~+482℃)、耐高压(部分型号可达 414bar/6000psig)与耐腐蚀性能，可适配半导体行业各类工艺气体，避免材质老化影响净化效果。
在过滤性能上，三通接头过滤器具备超高颗粒拦截率，能精准捕捉 UHP 超纯气流中的微小杂质，确保每一条分支气路的气体纯度都达到生产标准，从源头规避微粒对半导体元件的污染。同时，其高通量、低阻力的设计特点，可在高效过滤的同时减少气体流动损耗，保障各分支气路的压力与流量稳定，不影响生产节拍。
安装与维护方面，三通接头过滤器设计简便，无需焊接，仅需通过气路对接与螺母紧固即可完成安装，降低了安装过程中引入杂质的风险。此外，所有设备均经过 100% 完整性测试与 100% 氨气检漏测试，出厂品质有保障，可直接应用于半导体洁净室的制造、测试、包装等环节。
对于需要在气路分支处实现高效净化的半导体生产企业而言，三通接头过滤器不仅简化了系统设计，还能以可靠的性能保障各分支气路的纯净度，是提升生产效率与产品质量的理想选择。
