KF系列真空系统气体过滤器_KF40 真空卡环
深圳恒歌大流量真空系统优选 深圳恒歌KF系列真空系统气体过滤器,以KF40真空卡环为连接核心,专为大流量气体传输场景设计,适配中大型真空系统高效运行。
KF40 真空卡环连接口径适配大流量需求,安装便捷且密封性强,能快速与过滤器、真空管道对接,确保气体传输稳定。搭配过滤器可实现清洁、快速的回填过程,有效提升大流量场景下的产品产量与设备吞吐量,规范操作下产品完整性达 3.000.000 次循环。
核心产品特点
● 减少排气湍流:大口径流道设计,配合过滤器结构,降低排气紊流;
● 适配多类气体:兼容各类工艺气体,满足大流量气体过滤需求;
● 洁净全流程:卡环与过滤器均在洁净室生产检测,杜绝污染;
● 100% 完整性检测:严格出厂测试,保障大流量场景下的可靠性。
应用上,适用于大型半导体设备接口(如大型 PVD、Epi 设备)及大型真空室(传输、工艺腔体)通风,尤其适合短时间传递大量气体流的场合,为中大型真空系统提供稳定保障。