不锈钢真空泵过滤片_真空泵真空卡环过滤器

深圳恒歌的不锈钢真空泵过滤片，是真空系统的高纯度保障。它不仅能够有效减少工艺腔体排气时的湍流，还能在短时间内传递大量气体流，确保真空系统的高效运行。特别适用于半导体设备接口及各类真空室的通风，无论是CVD、PVD、Etch还是Epi工艺，都能完美适配。在规范安装及操作条件下，可确保产品完整性达3.000.000次循环。

产品特点：

● 减少工艺腔体排气时的湍流：优化的结构设计，有效降低排气过程中的气体扰动，提高真空系统的稳定性。

● 适用于多种工艺气体：广泛的气体兼容性，无论是腐蚀性气体还是惰性气体，都能高效过滤，保障工艺的顺利进行。

● 洁净室环境内制造、测试、包装：从生产到包装，全程在洁净室环境下完成，确保产品本身的高洁净度。

● 100% 完整性测试通过：每一件产品都经过严格测试，保证在使用过程中的可靠性和稳定性。

● 高品质不锈钢材质：采用高品质不锈钢材质，耐腐蚀性强，使用寿命长，过滤效果出众。

● 高性能密封：采用高品质材料，确保真空系统的密封性，防止气体泄漏。