电子特气管道系统专用过滤器​丨半导体气体装置过滤器

电子特气管道系统是半导体、显示面板、电子元器件等高端电子制造业的关键基础设施，负责输送光刻气、蚀刻气、掺杂气等特种气体，其核心要求是无泄漏、无杂质、高纯净，直接影响电子元件的性能与良率。​

1. 为何需要使用过滤器？​

电子特气本身可能含微量微粒、金属离子杂质，管道输送过程中也可能产生氧化碎屑、密封件磨损颗粒；这些污染物会导致芯片短路、显示面板像素缺陷、电子元器件性能衰减，过滤器是电子特气管道系统中不可或缺的 “纯度保障关卡”。​

2. 过滤器介绍​

恒歌 TF 系列电子特气管道系统专用过滤器，专为电子特气的高纯净、强腐蚀特性设计，采用 316L 不锈钢锻造结构，搭配特种密封材质，精准清除超纯气流中的微粒、金属杂质，安装简便且密封性能优异，避免特气泄漏与二次污染。​

3. 过滤器特点​

▶ 316L 不锈钢全结构 + 耐腐蚀密封，适配氯气、氟化氢、磷化氢等强腐蚀性特气​

▶ 超高密封性能，泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s，符合电子特气输送安全标准​

▶ 低流阻设计，不影响特气输送流速，保障管道系统流量稳定​

▶ 过滤精度覆盖 0.003μm-5μm，支持定制化选型​

▶ 100% 完整性测试 + 氨气检漏，满足 ISO 14644-1 Class 1 洁净标准​

▶ 可重复使用，更换滤芯即可，降低使用成本​

4. 产品应用​

半导体晶圆制造特气输送管道、LCD/OLED 显示面板特气系统、电子元器件生产特气管道、光伏电池特气输送系统、半导体封装测试特气管道​

5. 常见问答​

Q：过滤器能否兼容所有电子特气？​

A：适配 95% 以上常用电子特气，包括惰性气体、腐蚀性气体、易燃易爆气体，特殊气体可提供定制化材质方案。​

Q：滤芯的使用寿命是多久？​

A：常规使用条件下，滤芯寿命为 8-12 个月，具体需根据特气纯度与使用流量调整。​

Q：安装是否需要专业技术人员？​

A：无需！采用快装式结构，仅需气路对接与螺母紧固，普通操作人员即可完成安装。​

Q：是否符合半导体行业 SEMI 标准？​

A：完全符合 SEMI F20、SEMI F37 等相关标准，可直接应用于半导体工厂特气系统。​

6. 选型指引​

如果您不确定特气类型对应的过滤器材质、过滤精度或安装规格，欢迎联系我们，为您提供精准选型方案！​