特气柜高纯气体过滤器_电子级特气气体过滤器
在特气柜系统的安全运行中，气体洁净度的把控至关重要。深圳恒歌研发的 HF 系列高压气体专用过滤器，作为特气柜高纯气体过滤器的佼佼者，专为半导体制程中的高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统提供精准过滤解决方案。
产品采用坚固的 316L 不锈钢结构，这一材质选择不仅赋予了过滤器卓越的抗腐蚀能力，更使其能在高压环境下保持结构稳定，50Mpa 的设计压力充分满足了高压气体系统的运行需求。与高强度并存的是相对较轻的重量，实现了小型化、轻量化设计，有效减少安装空间，让特气柜内部布局更紧凑合理。
过滤效率是其核心竞争力。凭借独特的过滤技术，能够高效捕捉压缩空气中的尘埃、铁锈、油雾及碳氢化合物等杂质，确保进入系统的气体纯度达到严苛标准，从根本上避免污染物对设备造成的损害，保障系统高效运行。同时，过滤器具备高透气性，在高效过滤的同时不会过度增加气体输送阻力，维持系统流畅运行。
在使用便利性上，产品细节设计彰显匠心。螺纹连接方式确保了整体的密封性，且兼容 C 型和 W 型多种密封规格，适配不同的系统连接需求。滤芯可更换的设计让检修维护变得简单高效，大幅缩短停机时间。每台过滤器都经过 100% 完整性测试和 100% 氨气泄露检测，以零缺陷的品质承诺，为特气柜系统的安全稳定运行提供坚实保障。
