实验室气路系统专用气体过滤器丨电子特气系统过滤器

实验室气路系统是科研、制药和半导体研发中用于分配高纯气体的基础设施，包括气瓶、管路、阀门和分析仪器。系统要求气体纯度极高(如99.999%以上)，以支持精密实验如色谱分析、材料合成或微电子测试。气路通常涉及多种气体(如氧气、氢气)，需避免交叉污染。设备紧凑性、安全性和低维护性是关键，尤其在洁净室或高风险环境中。

​​为什么使用过滤器​​

实验室气路中，气体可能携带颗粒、水分或油分，干扰实验结果或损坏昂贵仪器。例如，在色谱仪中，污染物可能导致基线漂移或柱失效;在半导体研发中，气体不纯可能影响器件测试准确性。文档指出，过滤器能拦截亚微米颗粒，防止管路堵塞和泄露，确保气体一致性。OF系列在线式过滤器专为高流量电子级气体设计，解决实验室的供应链困扰。

​​过滤器介绍​​

恒歌HENGKO的OF系列在线式气体专用过滤器是实验室气路系统的理想选择，过滤精度0.003μm，适用于大流量特种气体供应。其全焊接316L不锈钢外壳与多数高纯度气体兼容，如惰性气体和电子级气体。结构紧凑、强度高，支持在线安装，便于集成到气柜或歧管系统。设计专注于超纯净化，满足实验室对气体纯净度的苛刻要求。

​​过滤器特点​​

​​● 材料与密封​​：整体316L不锈钢结构，耐高温高压，工作压力达207bar，温度范围-28°C至+482°C;100%氦气检漏测试确保密封性。

● ​​过滤效率​​：超高颗粒拦截率，出口杂质<5ppb;流量压差曲线如Z01B-00712所示，作为系统压力函数流量稳定，高通量、低阻力。

● ​​安装便捷​​：可选多点在线安装，减少系统停机时间;外形尺寸多样，适配1/4″至1/2″接口。

● ​​可靠性​​：通过完整性测试，适用于洁净室制造，延长仪器寿命。

OF系列广泛应用于实验室气路系统，如半导体研发中心的气体分配歧管、制药厂的仪器保护气路，以及环保检测设备的气体净化。在新能源实验室，它用于氢气燃料电池的气体供应，确保安全高效。案例包括集成电路测试平台，过滤器保障气体纯度，提高实验重复性。文档指出，该系列是实验室实现超高纯气体的经济解决方案，助力健康与科技发展。