高纯气体管道系统专用过滤器丨316L不锈钢过滤器

1. 设备介绍​

高纯气体管道系统广泛应用于半导体、光伏、LED、电子化工等行业，负责输送氮气、氧气、氩气、氢气等高纯 / 超高纯气体，管道系统需具备极低的泄漏率和杂质析出率，确保气体在输送过程中纯度不衰减。​

2. 为何需要使用过滤器​

高纯气体在生产、储存、输送过程中，易受气瓶内壁杂质、管道焊接氧化层、阀门密封件析出物等污染，即使微量杂质也会影响下游产品质量(如光伏电池转换效率、电子元件可靠性)，过滤器是维持气体纯度的关键设备。​

3. 过滤器介绍​

恒歌 HF 系列高纯气体管道专用过滤器，专为高纯气体输送系统设计，采用电解抛光 316L 不锈钢结构，内壁粗糙度 Ra≤0.2μm，有效减少杂质吸附，50Mpa 高压设计适配各类高纯气体输送压力，可高效滤除气体中的微粒、油雾、水分及有机杂质。​

4. 产品特点​

316L 不锈钢电解抛光处理，内壁光滑无吸附，保障气体纯度​

轻量化设计，安装空间小，螺纹 / 法兰连接可选，密封性能优异​

耐高压 50Mpa、耐高温 180℃，适配多类型高纯气体(惰性 / 活性气体)​

滤芯采用疏水 / 疏油材质，过滤效率高，不易结露堵塞​

100% 出厂完整性测试，泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s​

维护简便，滤芯可单独更换，降低使用成本​

5. 产品应用​

适用于半导体高纯气体输送管道、光伏行业高纯氩气 / 氢气管道、LED 制造高纯氮气管道、电子化工超高纯试剂配套气体管道系统。​

6. 常见问答​

Q1：过滤器对气体流量有影响吗?​

A1：采用低流阻设计，滤芯通量大，在额定流量范围内压力损失≤0.05Mpa，不影响管道系统正常供气。​

Q2：能否用于超高纯氮气(99.9999%)系统?​

A2：完全适用，过滤器可滤除氮气中残留的微量水分和微粒，进一步提升气体纯度至 99.99995% 以上。​

Q3：与普通过滤器的区别是什么?​

A3：针对高纯气体设计，无非金属析出物，密封件采用全氟材质，避免污染气体，且通过 SEMI F20 高纯标准认证。​

7. 选型引导​

不同高纯气体的化学性质、管道压力、流量需求差异较大，如需匹配精准过滤方案，欢迎联系恒歌获取专业选型支持!