高纯多孔金属限流器

多孔金属限流器主要作用

1/防气体流量失控​：防止因管线破裂、阀门故障导致的工艺气体过载
2/稳流降紊​：优化气体流动形态，形成层流，减少压力波动与振动
3/纯净度保障​：拦截＞0.003μm颗粒，避免污染超纯工艺气体
半导体领域​：多孔金属限流器以洁净、稳定、可定制为核心。

多孔金属限流器特点

1.结构紧透，节省空间
2.通过更换气阻配件，可定刚不同流量
流量控制可靠持久
3.可用于高流量、高温度与高压力环境，减少气体流动负担，不易堵塞，可形成层流整体316L不锈钢培构，无结构考由或颗粒脱落
4.使用寿命长
5.100%氦气油露检测通过

性能优势​：

✅ ​精准控流​：通过更换气阻配件调节流量，适配光刻/蚀刻等不同工艺需求
✅ ​洁净安全​：无颗粒脱落，100%氨气泄漏检测认证，保障气体纯净度
✅ ​长效稳定​：使用寿命长

多孔金属限流器应用

​半导体制造​：
​光刻（EUV）​​：稳定光刻气体流量，提升图案精度与良率
​薄膜沉积（CVD/PVD）​​：保障反应气体均匀覆盖，控制薄膜厚度一致性
​蚀刻与离子注入​：精确控制腐蚀性气体流量，减少晶圆瑕疵风险
​工业场景​：
超纯水处理、气体消毒系统、新能源电池制造中的气体管理