高纯多孔金属限流器

高纯多孔金属限流器丨工业气体过滤器OEM制造商

恒歌RF系列多孔金属限流器、通过与不同规格的气阻配件结合、安装在压缩气体供应管线和气体分配歧管中、以防止由于气体管线破裂、阀门或压力调节器故障、引起的意外高气体流量。在半导体制程气体输送分配系统中、用于保护气体流量稳定可靠、减少气体流动负担、避免气体过载引发不良后果。结构坚因、更换便捷。

产品特点：

● 结构紧凑、节省空间

● 通过更换气阻配件、可定制不同流量

● 流量控制可靠持久务

● 可用于高流量、高温度与高压力环境、减少气体流动负担、不易堵塞、可形成层流整体

● 316L不锈钢结构、无结构弯曲或颗粒脱落

● 使用寿命长

● 100%氨气泄露检测通过

多孔金属限流器主要作用：

1、防气体流量失控​：防止因管线破裂、阀门故障导致的工艺气体过载

2、稳流降压​：优化气体流动形态，形成层流，减少压力波动与振动

3、纯净度保障​：拦截>0.003μm颗粒，避免污染超纯工艺气体

4、半导体领域​：多孔金属限流器以洁净、稳定、可定制为核心。

性能优势​：

✅ ​精准控流​：通过更换气阻配件调节流量，适配光刻/蚀刻等不同工艺需求

✅ ​洁净安全​：无颗粒脱落，100%氨气泄漏检测认证，保障气体纯净度

✅ ​长效稳定​：使用寿命长

多孔金属限流器应用：

​半导体制造​：

​● 光刻(EUV)​​：稳定光刻气体流量，提升图案精度与良率

● ​薄膜沉积(CVD/PVD)​​：保障反应气体均匀覆盖，控制薄膜厚度一致性

● ​蚀刻与离子注入​：精确控制腐蚀性气体流量，减少晶圆瑕疵风险

​工业场景​：

● 超纯水处理、气体消毒系统、新能源电池制造中的气体管理

恒歌多孔金属限流器可提供 OEM 定制服务、可按照您的需求设计生产、为您的项目提供最专业的限流解决方案!

技术参数

多孔金属限流器核心优势

1、精准限流护安全，杜绝意外高流量风险​

基于多孔金属材料精准的孔径分布与孔隙率控制，能快速响应气体管线破裂、阀门 / 压力调节器故障等突发情况，瞬间将流量稳定在安全范围，避免因气体过载引发的设备损坏、制程中断等风险，为半导体制程气体输送系统筑牢安全防线。​

2、宽温压稳定工作，适配复杂工况​

可在 - 200℃~600℃的极端温度范围与高压力环境下保持稳定性能，无需担心温度骤变或压力波动影响限流效果，完美兼容特种气体、高温蒸汽等半导体制造中的复杂工况，无需频繁更换设备适配不同场景。​

3、模块化气阻设计，流量定制灵活​

通过更换不同规格的气阻配件，即可轻松实现不同流量需求的定制，无需整体更换限流器，适配半导体制程中不同工序的气体流量差异，降低设备更换成本，提升生产线适配灵活性。​

4、316L 不锈钢结构，耐用无二次污染​

采用高强度 316L 不锈钢材质打造，无结构弯曲、颗粒脱落风险，能耐受气体腐蚀，避免材质老化或杂质脱落污染超纯气体，保障半导体晶圆生产质量，同时延长设备使用寿命，减少维护频次。

​

5、结构紧凑省空间，安装便捷高效​

整体设计小巧紧凑，占用管线空间极小，可轻松安装在压缩气体供应管线和气体分配歧管中，无需对现有管线进行大幅改造;且拆装流程简单，即使在狭窄的设备布局环境中，也能快速完成安装与更换。​

6、低流阻减负担，保障系统高效运行​

在精准限流的同时，通过优化的多孔结构降低气体流动阻力，减少气体输送系统的运行负担，避免因流阻过大导致的压力损失，保障整个气体分配系统高效、稳定输送，降低能耗成本。​

7、防堵易清洁，减少维护麻烦​

多孔金属结构具备良好的抗堵塞性能，不易因气体中的微小杂质造成孔径堵塞;即使出现轻微堵塞，也可通过简单的清洁流程恢复性能，无需复杂拆解，大幅减少维护时间与成本，降低生产线停机风险。​

8、100% 氦检保密封，杜绝气体泄露​

每台产品出厂前均通过 100% 氦气泄露检测，泄露率远低于行业标准，确保在高压、高纯度气体输送场景中无气体泄露，既保障生产安全，又避免珍贵特种气体浪费。​

常见问答

Q1：这款多孔金属限流器能否适配我们半导体工厂常用的所有特种气体(如氨气、硅烷)?​

A1：完全可以适配。产品采用耐腐蚀性极强的 316L 不锈钢材质，且经过特殊表面处理，能耐受氨气、硅烷、磷化氢等各类半导体常用特种气体的腐蚀，不会因气体性质导致材质损坏或限流性能下降，同时也不会与气体发生反应造成气体污染，可放心用于各类特种气体管线。​

Q2：更换气阻配件时需要停机多久?会不会影响生产线的连续运行?​

A2：更换气阻配件操作简单高效，正常情况下仅需 5-10 分钟即可完成。建议用户提前备好对应规格的备用气阻配件，在生产线短暂的间隙(如工序切换、设备巡检时)进行更换，基本不会对生产线的连续运行造成影响;若为关键生产线，也可通过双管线设计，在更换一侧限流器配件时，切换至另一侧管线供气，实现零停机更换。​

Q3：如何判断限流器需要更换或维护?有没有明确的判断标准?​

A3：有 3 个明确的判断标准：① 通过流量监测设备发现，即使更换适配气阻配件，实际流量仍与设定流量偏差超过 8%，可能是限流器内部结构受损;② 管线压力正常，但气体输送效率明显下降，可能是限流器内部出现堵塞;③ 限流器使用时间超过 24 个月(正常工况下)，建议进行全面检测或更换，以保障限流性能稳定。此外，若发现限流器出现外观变形、接口泄漏等情况，也需立即停机检查维护。​

Q4：与传统的阀门式限流装置相比，这款多孔金属限流器的核心优势是什么?​

A4：相比传统阀门式限流装置，核心优势体现在 3 个方面：① 响应速度更快，传统阀门式限流依赖机械动作，响应时间通常在 0.5-1 秒，而这款限流器通过多孔金属的流体阻力特性，可实现毫秒级限流响应，能更快应对管线破裂等突发情况;② 稳定性更高，传统阀门式限流易受阀门磨损、密封件老化影响，限流精度会逐渐下降，而这款限流器无复杂机械运动部件，仅依靠多孔结构实现限流，长期使用精度衰减率低于 3%;③ 维护成本更低，传统阀门式限流需定期更换密封件、润滑部件，而这款限流器仅需按需更换气阻配件，且主体结构使用寿命长达 2 年以上，综合维护成本可降低 40% 以上。​

Q5：安装这款限流器时，对管线的接口规格有要求吗?如果我们现有管线接口不匹配怎么办?​

A5：产品默认提供半导体行业常用的法兰、螺纹等标准接口规格(如 1/4 英寸、1/2 英寸 NPT 螺纹，DN10、DN15 法兰)，可直接适配大部分工厂的现有管线。若现有管线接口不匹配，我们可提供定制化接口服务，根据您提供的管线接口尺寸、类型，定制对应的限流器接口，无需对现有管线进行大规模改造，仅需简单适配即可安装使用，定制周期通常为 3-5 个工作日，能快速满足您的安装需求。​

Q6：在极端低温(如 - 180℃)或高温(如 460℃)工况下，限流器的限流精度会不会受影响?​

A6：不会受影响。产品在研发阶段已通过 - 200℃~460℃全温度范围的性能测试，在该温度区间内，多孔金属材料的孔径、孔隙率等关键参数几乎无变化，限流精度偏差可控制在 5% 以内，完全能满足极端温工况下的使用需求。无论是用于低温液态气体汽化后的限流，还是高温蒸汽管线的限流，都能保持稳定的限流效果，无需担心温度对性能的影响。

恒歌多孔金属限流器，依托专业多孔金属加工技术，不仅可提供 OEM 定制服务，更能根据您的流体控制需求、工况参数(如压力、介质类型)专属设计生产，为您的项目打造适配性更强、性能更稳定的专业限流解决方案!