KF16筛网定心环用于ISO真空管道系统不锈钢O型圈真空接头
KF 系列真空系统气体过滤器凭借其便捷的安装特性与卓越的性能,成为真空系统的理想配套组件,尤其在优化回填过程中表现突出 —— 能够实现清洁、快速且低湍流的回填操作,进而有效提升产品产量与设备整体吞吐量,为生产效率的提升提供有力支持。
在遵循规范安装要求与标准操作条件的前提下,该过滤器可确保产品完整性稳定达到3.000.000 次循环,具备优异的耐用性与可靠性,能长期保障真空系统的稳定运行。
其应用场景广泛,核心覆盖半导体领域关键设备与腔体:
● 半导体设备接口:适配化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、刻蚀(Etch)、外延生长(Epi)等核心半导体工艺设备;
● 各类真空室:可用于装载锁、传输腔、冷却腔、工艺腔体等真空环境的通风需求,尤其适合短时间内需传递大量气体流的工况,能从容应对高流量气体传输场景。
产品特点
● 优化气流稳定性:有效减少工艺腔体排气过程中产生的湍流,避免气流紊乱对工艺精度与产品质量造成影响,保障腔体内部环境稳定;
● 兼容性广泛:适用于多种类型的工艺气体,无需针对不同气体频繁更换过滤器,降低设备维护成本与操作复杂度;
● 高洁净标准:全程在洁净室环境中完成制造、测试与包装流程,从生产源头控制污染物,确保过滤器本身无杂质引入,满足高洁净度工艺要求;
● 品质绝对保障:每台过滤器均经过 100% 完整性测试,只有完全符合性能标准的产品才可出厂,杜绝不合格产品流入市场,为用户提供可靠的品质承诺。
产品展示


恒歌KF16KF25KF40真空支架采用iso标准,多种型号和尺寸可选。使用 ISO 组件有几个优点。由于组件尺寸是标准化的,因此给定尺寸的弯头、三通、四通或阀门可以互换。

组装方式

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