集成电路过滤器丨半导体集成电路过滤器精度0.003μm

集成电路是电子信息产业的核心基石，通过在半导体晶圆上集成大量晶体管、电阻等元器件，实现信号处理、数据存储等核心功能，广泛应用于手机、电脑、物联网设备等终端产品。其制造过程涉及多道精密工序，对生产环境和物料纯度要求极高。

使用过滤器的核心原因

集成电路制造需依赖高纯 / 超纯工艺气体(如硅烷、氨气)，气体在输送过程中易混入微粒、金属杂质等污染物。这些杂质会导致晶圆表面形成缺陷、元器件性能失效，直接降低产品良率，因此必须通过专用过滤器拦截杂质，保障气体洁净度。

过滤器介绍

恒歌 BF 系列大宗气体专用过滤器，专为集成电路生产的超高纯气体在线过滤设计。全 316L 不锈钢精密打造，多柱状或叠盘状介质结构，过滤精度高达 0.003μm，可实现 99.9999999%(9LRV)的颗粒拦截效率。

过滤器核心特点

● 整体 316L 不锈钢结构，耐高温(惰性气体 400-500℃)、耐高压(最大进气压力 207bar)、耐腐蚀。

● 高通量设计搭配低阻力特性，确保气体输送效率，不影响生产节拍。

● 100% 氮气检漏测试与完整性测试，无泄漏风险，符合洁净室生产要求。

● 出口气体各杂质含量小于 5ppb，下游洁净度≤0.03particles/liter(≥0.01μm)。

产品应用

适用于集成电路生产中高纯气体输送管路，覆盖晶圆制造、封装测试等环节，可匹配硅烷、氨气、氮气等多种工艺气体的过滤需求，助力提升芯片良率与可靠性。