iso真空中心支架o型密封氟胶圈KF真空过滤网中心支架

KF 系列真空系统气体过滤器专为优化真空系统运行设计，具备便捷安装特性，可快速适配各类真空设备，无需复杂调试流程，大幅降低现场施工难度。在回填环节中，能精准实现清洁、快速且低湍流的气体传输，避免气流紊乱对工艺腔体内部环境的干扰，直接助力提升产品产量与设备整体吞吐量，尤其适合高节奏生产场景。​

在规范安装与正常操作条件下，产品展现出卓越的耐用性，可确保 3.000.000 次循环的完整运行，无需频繁更换，显著减少设备停机维护时间。此外，过滤器兼容性广泛，可覆盖半导体领域核心应用场景：包括化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、刻蚀(Etch)、外延生长(Epi)等半导体设备接口，以及装载锁、传输腔、冷却腔、工艺腔体等各类真空室的通风需求，特别适配短时间内传递大量气体流的工况。​

产品特点

1. 效率与产能保障​

低湍流设计：避免排气时气流紊乱影响工艺精度，减少因气流问题导致的产品不良率，间接提升合格产品产出量;​

快速回填：缩短气体回填周期，减少设备等待时间，助力生产线提升单位时间内的运行效率。​

2. 使用寿命与成本控制​

3.000.000 次循环寿命：远超普通过滤器的使用频次，减少更换次数，降低耗材采购成本与人工维护成本;​

稳定性能：长期运行中性能无明显衰减，避免因过滤器失效导致的工艺中断，减少意外停机带来的生产损失。​

3. 洁净度与工艺适配​

洁净室全流程管控：从制造、测试到包装均在洁净室环境中完成，杜绝外界杂质污染，满足半导体等高精度行业对洁净度的严苛要求，避免因过滤器引入污染物影响产品质量;​

多气体适配：可兼容多种工艺气体(如惰性气体、反应性气体等)，无需针对不同气体单独定制，降低设备适配成本，适配多品类生产需求。​

4. 安装与操作便捷性​

易安装设计：标准化接口与简易安装流程，无需专业技术人员即可完成安装，减少现场调试时间;​

100% 完整性测试：每台产品出厂前均通过全检，客户无需额外检测即可直接投入使用，降低验收环节的时间与人力成本。