恒歌卡套直通过滤器不锈钢气体过滤器精密高效工艺气体过滤器
在半导体制造中，超纯气体的洁净度直接关乎芯片良品率。卡套直通气体专用过滤器专为半导体领域研发，以卓越性能精准清除 UHP 超纯气流中的微粒，成为保障生产纯净度的关键设备。
该过滤器采用整体 316L 不锈钢结构，凭借其出色的耐高温、耐高压与耐腐蚀特性，从容应对半导体工艺中各类严苛的气体环境，无论是光刻、刻蚀还是薄膜沉积环节，都能稳定运行。同时，过滤器通过 100% 完整性测试与氨气检漏测试，杜绝泄漏风险，确保气体输送的安全性与稳定性。
在过滤性能上，过滤器实现高通量与低阻力的完美平衡，其独特的内部结构设计，大幅降低压力损耗，配合超高颗粒拦截率，可高效去除≥0.01μm 的微小颗粒，拦截效率≥99.999%，有效避免因颗粒污染导致的光刻缺陷、薄膜沉积不均等问题。
安装便捷性是该过滤器的一大亮点。无需复杂焊接操作，仅需气路对接与螺母紧固，即可快速完成安装，10 分钟内即可完成，既节省时间，又避免了焊接可能产生的金属颗粒污染，密封性能可靠，同时支持带压快速更换滤芯，极大提升了使用效率。此外，其结构紧凑轻盈，特别适合半导体设备内部狭窄气路布局，有效节省安装空间。
卡套直通气体专用过滤器以专业设计、可靠性能和便捷操作，为半导体超纯气体净化提供了高性价比的解决方案，是半导体生产工艺气体净化的理想之选。
