半导体洁净室温湿度监测有多重要?

        洁净室是指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数都需要进行控制的密闭性空间。许多精密加工行业、半导体、芯片、医学手术室、电子设备、航天、制药、生物实验室行业等都需要洁净室。比如医学行业主要是为了防止病菌、细菌、灰尘对病人手术过程中造成感染;温湿度对于精密仪器仪表产品的精确程度有很大影响。

        半导体在芯片、集成电路、消费电子、通信系统等中都有应用,

        半导体制造洁净室对温湿度的要求一般是温度处于22-28℃ ,湿度在30-50 RH(%)之间。洁净室运作过程中对相对湿度环境控制尤为常见。因为相对湿度会对洁净室总体表现下降有较大影响,比如加速细菌繁殖;人体舒适感不佳,人体汗液可能污染半导体产品;出现静电荷;加快金属腐蚀生锈;水汽冷凝污染半导体表面的清洁度;光刻的退化;影响光刻胶附着能力等。

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        因此,对于半导体洁净室的温湿度控制尤为重要。现在的半导体洁净室系统都会严格控制温湿度、空气洁净度和压力程度等,在室内安装不同的温湿度传感器、压力传感器等,做到实时监测、实时控制。恒歌也有多款温湿度变送器传感器温湿度仪表温湿度记录仪等产品应用于各种高精尖行业、生物实验室、制药车间、洁净室的温湿度监测。

 恒歌-温湿度变送器DSC_3636

        运用各种传感器来对温湿度数据进行实时监控,但是偶尔传感器用久了,也会发生漂移现象。因此传感器是需要定期校准的。恒歌温湿度校准仪表具有操作方便、便携、多功能、高精度、多种测量/数据输出模式等优点,成为工业现场、实验室、仪表制造常用的计量校准工具。

 手持温湿度探头-DSC_0793-1

 

        不同的洁净室对于温湿度的要求是不同的,主要是根据加工使用的产品本身的特性来考量。但是有一点是可以肯定的,温湿度不管在任何行业,作为一个环境因素发挥着重要的影响力。我们总是运用各种手段进行温湿度数据监控,以便达到我们的理想状态。

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发布时间 21-09-11