恒歌微电子半导体过滤器:以精密过滤筑牢半导体制造 “纯净防线”!

在半导体制造领域,“纯净” 是决定芯片良率的核心要素 —— 哪怕 0.001μm 的微粒污染,都可能导致整个晶圆批次报废。作为半导体气体输送系统的 “守门人”,深圳市恒歌科技的微电子半导体过滤器系列,凭借全系列高规格设计与严苛工艺,成为超高纯气体过滤的可靠选择。

恒歌科技深耕半导体过滤技术,旗下 BF、SF、MF、DF、HF、RF 六大系列产品,覆盖从大宗气体输送到精密仪器保护、从低压到高压环境的全场景需求。以核心的 316L 不锈钢结构为例,这种材质不仅具备耐高温(最高 400℃)、耐高压(最高 50Mpa)、耐腐蚀的特性,更能在高温动态环境中保持结构稳定,避免因材质老化产生二次污染,从源头保障气体纯净度。

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针对不同场景,产品设计各有侧重:BF 系列大宗气体专用过滤器采用多柱状介质设计,在高流通量下仍能保持低阻损,0.003μm 的过滤精度可拦截几乎所有微米级及亚微米级颗粒,完美适配超高纯工艺气体在线过滤;SF 系列 IGS 面板专用过滤器则以紧凑体型融合高效过滤,支持 100slpm 大流量的同时,兼容多种密封规格,让集成气体输送系统升级更便捷;MF 系列作为仪器 “守护者”,无需切割或焊接管道即可安装,为 MFC 模块、精密阀门等敏感设备筑起防污屏障。

从洁净室制造到 100% 完整性测试、100% 氨气检漏测试,恒歌的每一款过滤器都经过严苛检验。这种对 “纯净” 的极致追求,让其产品不仅满足 SEMI 标准,更成为半导体制造中 “零污染” 目标的坚实后盾 —— 毕竟在芯片制程不断突破的今天,可靠的过滤系统,本身就是良率提升的隐形保障。


发布时间 25-07-26