恒歌半导体微电子超高纯气体过滤器如何破解 “高通量与高纯净” 难题?

在半导体大宗气体输送环节，“高通量” 与 “高纯净” 似乎是一对天然矛盾：既要保证气体快速流通以提升生产效率，又要确保 0.003μm 级的颗粒拦截率。而恒歌 BF 系列半导体微电子超高纯气体过滤器，通过创新设计让这一矛盾迎刃而解。

作为专为大宗气体过滤设计的产品，BF 系列的核心优势在于 “高效流通 + 精准拦截” 的双重能力。其采用的多柱状或叠盘状介质结构，扩大了过滤接触面积 —— 相比传统过滤器，相同时间内可通过的气体流量提升 30% 以上，却能将阻损控制在极低水平，避免因压力损失影响气体输送稳定性。这种设计背后，是对半导体制造 “效率与质量并重” 需求的深刻理解。

材质选择上，BF 系列半导体微电子超高纯气体过滤器坚持全 316L 不锈钢精密打造。这种材质经过电解抛光处理，表面光滑度达到洁净室级标准，既能避免气体流经时产生微粒脱落，又能耐受工艺中常见的腐蚀性气体(如氨气、氟气)，同时适应高温动态环境 —— 即便是在 300℃以上的工艺场景中，仍能保持结构稳定，不会因热胀冷缩出现密封失效。

为确保 “超高纯” 承诺，BF 系列从生产到出厂全程可控：在洁净室环境内完成制造、测试与包装，避免外界污染;出厂前通过 100% 完整性测试和氨气检漏测试，确保无泄漏风险。对于需要连续生产的半导体工厂而言，这种 “即装即用” 的可靠性，意味着更少的停机维护和更稳定的工艺表现。

从 8 英寸到 12 英寸晶圆厂，BF 系列已成为大宗气体过滤的优选方案 —— 它不仅是一款过滤器，更是半导体制造中 “稳定与纯净” 的双重保障。