在半导体制造的精密世界里，每一个微小的细节都可能决定最终产品的成败。气体分配系统作为芯片生产的关键环节，其内部的洁净程度直接影响着工艺的稳定性和产品的良率。深圳恒歌推出的垫片式过滤器，以其独特的设计理念和卓越的性能表现，成为半导体设备防护的理想之选，为气体分配系统的洁净运行提供了有力保障。
垫片式过滤器的诞生，源于对半导体行业实际需求的深度洞察。传统过滤器在安装过程中往往需要对管道进行切割、焊接等复杂操作，不仅耗时费力，还可能对现有系统造成不必要的干扰，增加泄漏风险。而恒歌的垫片式过滤器采用创新的垫片式安装方式，作为表面密封的过滤器，无需进行任何额外的管道加工工作。这种设计极大地简化了安装流程，使过滤器能够快速、便捷地集成到气体分配系统中，无论是新建生产线还是老旧设备改造，都能轻松应对，有效降低了安装成本和时间成本。
全金属材质是恒歌垫片式过滤器的一大亮点。它整体采用 316L 不锈钢结构，这种材质具有优异的耐腐蚀性和耐高温性，能够适应半导体生产中各种严苛的环境条件。在半导体制造过程中，常常会使用到各种腐蚀性气体，如氨气、氯化氢等，普通材质的过滤器容易受到腐蚀而损坏，影响过滤效果和使用寿命。而 316L 不锈钢材质的垫片式过滤器则能有效抵御这些腐蚀性气体的侵蚀，保持结构的稳定性和过滤性能的持久性。同时，它还能在高达 400℃的高温环境下稳定工作，满足半导体生产中高温工艺环节的过滤需求。
高效的过滤性能是垫片式过滤器的核心竞争力。其过滤精度≥0.3μm，能够精准拦截气体中携带的微小颗粒，防止这些颗粒进入 MFC 模块、精密阀门及稳压设备等敏感组件。在半导体设备中，这些敏感组件对颗粒污染极为敏感，即使是微小的颗粒也可能导致设备性能下降、寿命缩短，甚至引发生产故障。恒歌垫片式过滤器通过高效的过滤作用，为这些精密设备构建了一道坚实的防护屏障，有效延长了设备的使用寿命，降低了因设备故障导致的停机风险，为企业减少了大量的维护和更换成本。
兼容性强是恒歌垫片式过滤器的另一大优势。它兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 标准垫圈接口，能够与不同规格的气体分配系统完美对接。这意味着企业在选择过滤器时，无需担心接口不匹配的问题，大大提高了设备的通用性和互换性。无论是不同品牌的设备，还是不同规格的管道，垫片式过滤器都能轻松适配，为企业的设备选型和系统升级提供了极大的便利。
为了满足不同半导体生产场景的需求，恒歌垫片式过滤器提供了低压型和高压型两种选择。高压型适用于高压系统管路，其中 1/2’’规格的最大正向压差可达 2.9Mpa，1/4” 规格的最大正向压差高达 10.4Mpa，流量范围在 0~300slpm，能够满足高压、大流量工况下的过滤需求;低压型适用于低压系统管路(VCR 过滤垫片)，最大使用压力为 0.98Mpa，流量范围在 0~100slpm，同时提供 0.3μm、1.0μm、5μm、10μm 等多种过滤精度，企业可以根据具体的工艺要求灵活选择，实现精准过滤。
在现有配管上安装的能力，让恒歌垫片式过滤器更具实用性。很多半导体工厂在长期的生产过程中，已经形成了固定的配管布局，更换过滤器时若需要对配管进行大规模调整，不仅会增加成本，还可能影响生产进度。而恒歌垫片式过滤器可以直接在现有配管上安装，无需改变配管的结构和布局，为企业提供了一种经济高效的过滤升级方案。这种特性使得企业能够在不中断生产的情况下，快速提升系统的过滤性能，保障生产的连续性和稳定性。
泄漏风险是半导体生产中需要严格防范的问题，而颗粒污染是导致泄漏的重要原因之一。恒歌垫片式过滤器通过有效阻隔微粒侵袭，减少了微粒对密封面的磨损和破坏，从根本上降低了因颗粒污染引发的泄漏风险。这不仅保障了生产环境的安全，还减少了因泄漏导致的气体浪费和环境污染，符合半导体行业绿色、安全、高效的发展理念。
深圳恒歌作为半导体设备领域的专业制造商，始终将产品质量放在首位。垫片式过滤器的生产过程严格遵循国际标准和行业规范，每一个产品都经过精密的加工和严格的检测，确保其性能达到设计要求。从原材料的筛选到成品的出厂，每一个环节都有严格的质量控制体系，为产品的可靠性提供了坚实保障。
在半导体产业快速发展的今天，对气体分配系统的要求越来越高，高效、可靠的过滤设备成为提升生产质量和效率的关键。恒歌垫片式过滤器凭借其便捷的安装方式、优异的材质性能、高效的过滤能力、广泛的兼容性以及多样化的选择，成为了半导体设备防护的理想之选。它不仅为半导体生产提供了洁净的气体环境，还为企业降低了生产成本、提高了生产效率，是半导体行业值得信赖的过滤解决方案。
发布时间 25-07-31