在半导体制造过程中，气体的洁净度是保证芯片质量的关键因素之一。任何微小的颗粒杂质都可能导致芯片缺陷，影响产品良率。深圳恒歌推出的 VCR 垫片过滤器，以其独特的设计和卓越的性能，为半导体气体系统提供了高效的过滤解决方案，成为保护精密设备的重要屏障。
不锈钢VCR 垫片过滤器采用全金属材质制造，整体为 316L 不锈钢结构。这种材质具有出色的耐腐蚀性和耐高温性，能够适应半导体制造中各种腐蚀性气体环境和高达 400℃的高温工艺条件。全金属结构不仅确保了过滤器的强度和稳定性，还避免了非金属材料可能产生的微粒脱落问题，从源头保证了过滤后的气体洁净度。
作为专为半导体气体分配系统设计的设备，VCR 垫片过滤器在接口兼容性方面表现优异，兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 标准垫圈接口。这使得它能够轻松融入不同规格的气体管路系统，无论是新建生产线还是对现有设备进行升级改造，都无需对管路进行大规模调整，大大降低了设备更换的成本和难度。
安装方式上，不锈钢VCR 垫片过滤器采用垫片式便捷安装，作为表面密封的过滤器，无需进行复杂的管道切割或焊接作业。只需按照标准的 VCR 接口安装流程进行操作，就能快速完成安装，不仅缩短了安装时间，减少了生产停机带来的损失，还避免了因安装过程不当而引入的二次污染风险。
VCR 垫片过滤器的过滤性能十分出色，过滤精度≥0.3μm，能够有效拦截气体中的微小颗粒杂质，为 MFC 模块、精密阀门、稳压设备等敏感组件提供可靠保护。这些精密设备一旦受到颗粒污染，可能会导致控制精度下降、设备磨损加剧，甚至引发气体泄漏等严重安全隐患。VCR 垫片过滤器的高效过滤能力，能够有效降低这些风险，延长设备使用寿命，降低维护成本。
针对不同压力需求的半导体系统，VCR 垫片过滤器提供了高压型和低压型两种选择。高压型适用于高压系统管路，1/2’’规格的最大正向压差可达 2.9Mpa，1/4” 规格的最大正向压差高达 10.4Mpa，流量范围在 0~300slpm，能够满足高压力、大流量的工艺场景;低压型适用于低压系统管路(VCR 过滤垫片)，最大使用压力为 0.98Mpa，流量范围在 0~100slpm，同时还提供 0.3μm、1.0μm、5μm、10μm 等多种过滤精度，可根据具体工艺要求灵活选择。
此外，不锈钢VCR 垫片过滤器还可以在现有配管上直接安装，这为半导体企业的设备升级提供了极大便利。企业无需对现有的管路布局进行大规模改动，就能快速提升系统的过滤性能，以经济高效的方式实现气体洁净度的提升，满足更高标准的生产要求。
在半导体制造过程中，泄漏风险是必须严格把控的环节。VCR 垫片过滤器通过与 VCR 接口的紧密配合，形成可靠的密封，同时其高效的过滤性能减少了微粒对密封面的磨损，进一步降低了泄漏风险，为半导体工厂的安全生产提供了有力保障。
深圳恒歌始终专注于为半导体行业提供高品质的过滤设备，VCR 垫片过滤器的推出，充分体现了企业对半导体行业需求的深刻理解。它以全金属结构的可靠性、便捷的安装方式、高效的过滤性能和广泛的兼容性，为半导体气体系统提供了全方位的过滤保护，助力半导体企业提升产品质量和生产效率。
无论是在逻辑芯片、存储芯片还是特种半导体的制造过程中，VCR 垫片过滤器都能发挥重要作用，为气体系统输送洁净的气体，守护着每一个生产环节的精密与稳定。选择恒歌 VCR 垫片过滤器，就是选择了一种高效、可靠的过滤解决方案，为半导体制造的顺利进行保驾护航。
发布时间 25-07-31