在半导体制造的微观世界里，电子特气的纯度直接决定着芯片的性能与良率。哪怕是百万分之一的杂质颗粒，都可能导致电路短路或器件失效。作为气体输送系统的核心净化设备，电子特气精密过滤器的性能成为衡量半导体制造水平的关键指标之一。深圳恒歌凭借多年在高纯气体处理领域的技术积累，推出的三大系列过滤器，以微米级的过滤精度与工业级的可靠性，为半导体、LED、光伏等高端制造领域筑起一道坚实的洁净防线。
HF 系列高压气体专用过滤器堪称高压环境下的 “净化专家”。其采用整体 316L 不锈钢结构，这种材质在抗腐蚀、耐高温方面的表现尤为突出，能够轻松应对半导体制造中常见的腐蚀性特气。50MPa 的设计压力使其可以适配高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统，在保证高强度的同时，相对较轻的重量和紧凑的结构大大减少了安装空间。螺纹连接的方式确保了整个过滤器的密封性，并且兼容 C 型和 W 型多种密封规格，满足不同系统的连接需求。在过滤性能上，它能高效滤除压缩空气中的尘埃、铁锈、油雾及碳氢化合物，为后续制程提供洁净的气体源，从而保护系统免受污染，保障设备高效运行。
OF 系列在线式专用气体过滤器则是高流量场景下的理想选择。专为高流量电子级气体超纯净化设计，其过滤精度高达 0.003μm，能够拦截极其微小的颗粒杂质。全焊接 316L 不锈钢外壳不仅保证了结构的强度，还确保了与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性，尤其适用于大宗气体及惰性气体。在大流量特种气体供应及超高纯度气棒中，它能稳定发挥作用，为半导体、LED、光伏及 MEMS 设备连接提供超高纯度过滤，满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。同时，该系列过滤器还具备高流量、高强度、稳定可靠的特点，可选其它点位在线安装，方便快捷的安装方式大大提高了系统集成的效率。
SF 系列 IGS 面板专用过滤器在集成化方面表现出色。用于半导体行业集成气体输送与控制系统，它兼容 C 型和 W 型多种密封规格，实现 0.003μm 级高效颗粒过滤，保障 9-LRV 清洁度。支持高达 100slpm 的大流量，能够助力设备升级无忧。全 316L 不锈钢构造使其坚固耐用，紧凑体型融合全焊接与机械密封技术，在保证密封性的同时，也减少了安装空间的占用。采用符合 SEMI 标准的表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级，安装维护便捷高效，为用户节省了大量的时间和人力成本。
值得一提的是，深圳恒歌的这三大系列电子特气精密过滤器都经过了严格的质量检测。每一款产品都 100% 通过完整性测试和氨气泄露检测，确保在实际运行中不会出现泄漏等问题，为用户提供了可靠的质量保障。而且，滤芯可更换的设计使得维护更加简便，降低了设备的后期使用成本。
在半导体产业快速发展的今天，对电子特气的纯度要求越来越高，电子特气精密过滤器的作用也愈发重要。深圳恒歌始终以技术创新为驱动，不断提升产品性能，为全球半导体制造企业提供高品质的过滤解决方案，守护每一个精密制程的洁净环境。
发布时间 25-08-21