在半导体制造领域，超高纯特种气体的质量是决定芯片性能的关键因素之一。任何微小的杂质都可能导致整个晶圆报废，造成巨大的经济损失。超高纯特气纯化器作为气体净化的核心设备，其性能直接影响着半导体制造的精度与效率。深圳恒歌精心打造的 HF 系列、OF 系列和 SF 系列过滤器，凭借卓越的纯化能力，为半导体制造注入了纯净动力。
HF 系列高压气体专用过滤器在高压环境下的纯化表现尤为突出。采用坚固的 316L 不锈钢结构，不仅具备高强度，还拥有出色的耐高温和耐腐蚀性能，能够适应半导体制造中高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统的复杂工况。50MPa 的设计压力确保了它在高压环境下的稳定运行，而相对较轻的重量则减少了安装时的负担。螺纹连接方式保证了过滤器的密封性，并且兼容 C 型和 W 型多种密封规格，满足不同系统的连接需求。在纯化效果上，它能高效滤除压缩空气中的尘埃、铁锈、油雾及碳氢化合物，有效保护系统免受污染，提升气体质量，保障设备高效运行。滤芯可更换的设计，也让后期维护变得简便易行。
OF 系列在线式专用气体过滤器则专注于高流量电子级气体的超纯净化。过滤精度高达 0.003μm，意味着它能拦截极其微小的颗粒杂质，为气体纯化提供了极高的保障。其结构紧凑、强度高，全焊接 316L 不锈钢外壳确保了与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性，尤其适用于大宗气体及惰性气体。在大流量特种气体供应及超高纯度气棒中，该系列过滤器发挥着重要作用，为半导体、LED、光伏及 MEMS 设备连接提供超高纯度过滤，满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。高流量、高强度、稳定可靠的特点，让它在高流量场景下也能保持出色的纯化效果，可选的其它点位在线安装方式，更是方便了系统的集成与扩展。
SF 系列 IGS 面板专用过滤器适配于半导体行业集成气体输送与控制系统，在集成化场景中展现出优秀的纯化能力。兼容 C 型和 W 型多种密封规格，实现 0.003μm 级高效颗粒过滤，保障 9-LRV 清洁度，为集成系统内的气体纯度保驾护航。支持高达 100slpm 的大流量，能够满足设备升级后的流量需求，助力企业轻松应对产能提升。全 316L 不锈钢构造使其坚固耐用，紧凑体型融合全焊接与机械密封技术，在保证性能的同时节省了安装空间。采用符合 SEMI 标准的表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级，安装维护便捷高效，让用户在使用过程中更加省心。
值得信赖的是，这三大系列的超高纯特气纯化器都经过了严格的质量检测。100% 完整性测试和 100% 氨气检漏测试的通过，确保了每一台设备都能在实际运行中稳定发挥纯化作用，为用户提供可靠的气体净化解决方案。
在半导体技术不断革新的今天，对超高纯特气的需求日益增长，超高纯特气纯化器的重要性也愈发凸显。深圳恒歌始终致力于提升产品性能，以先进的技术和可靠的质量，为半导体制造企业提供高品质的纯化设备，助力行业持续发展。
发布时间 25-08-21