半导体制造对工艺气体的纯净度和输送密封性要求达到了极致，哪怕是微量的气体泄漏或微粒污染，都可能导致晶圆报废，造成巨大的经济损失。深圳恒歌TF系列中的W型一体式过滤器，凭借全焊接结构设计与高效过滤能力，为半导体工艺气体提供了零泄漏的净化解决方案。
1、全焊接结构，杜绝泄漏隐患
W 型一体式过滤器最核心的优势在于其全焊接结构，从阀体到过滤元件均采用全渗透焊接工艺。在半导体工艺气体输送系统中，传统过滤器常因密封件老化、连接部位松动等问题出现泄漏，而全焊接结构彻底消除了这些隐患。焊接点经过精密处理，不仅具备出色的密封性，还能承受高压、高温的严苛工况，即使在长期连续运行中，也能确保气体无泄漏。这种零泄漏特性，对于涉及易燃易爆或有毒有害工艺气体的半导体生产环节而言，尤为重要，既保障了生产安全，又避免了气体浪费和环境污染。
2、大过滤面积与高流量系数，提升净化效率
W 型一体式过滤器拥有更大的过滤面积，配合优化的内部流道设计，使其具备较高的流量系数。在半导体大规模生产中，工艺气体的需求量大，若过滤器流量不足，会导致气路压力不稳定，影响生产节奏。而大过滤面积能够在保证高效过滤的同时，降低气体通过的阻力，减少压力损耗，确保气体以稳定的大流量输送。此外，较大的过滤面积还能延长过滤器的使用寿命，减少滤芯更换频率，降低维护成本，为半导体企业提升生产效率、控制运营成本提供助力。
3、逆流冲洗功能，简化维护操作
W 型一体式过滤器具备逆流冲洗功能，这一设计为过滤器的维护操作带来了极大便利。在长期使用过程中，过滤器滤芯会截留大量微粒杂质，若不及时清理，会导致过滤效率下降、压力损耗增大。传统过滤器清理需拆卸滤芯，操作复杂且耗时，而 W 型一体式过滤器可通过逆流冲洗，在不拆卸滤芯的情况下，利用反向气流将滤芯表面的杂质冲洗掉，快速恢复过滤性能。这一功能不仅简化了维护流程，缩短了维护时间，还能减少滤芯的损耗，进一步降低企业的维护成本，保障生产的连续性。
4、精准过滤与宽泛适配，满足多样需求
在过滤精度方面，W 型一体式过滤器的过滤元件公称孔尺寸提供 0.5、2、7、15、40um 等多种选择，可根据半导体不同工艺环节对气体纯净度的要求，灵活搭配滤芯，实现精准过滤，确保 UHP 超纯气流中的微粒被高效清除。工作参数上，该过滤器工作压力可达 414bar(6000psig)，工作温度范围为 – 28~+482℃，能够适应半导体制造中多种工艺气体的过滤需求，同时适用于洁净室环境内的制造、测试、包装等环节。此外，其采用的 316L 不锈钢材质，具备耐高温、耐高压、耐腐蚀特性，进一步确保了过滤器在复杂工艺环境下的稳定运行。
深圳恒歌 W 型一体式过滤器，以零泄漏的全焊接结构、高效的过滤与流量性能、便捷的逆流冲洗功能，为半导体工艺气体净化提供了可靠解决方案，成为半导体企业保障生产质量、提升运营效率的理想选择。
发布时间 25-08-29