在半导体制造的高压力工艺环节中，工艺气体的稳定输送与纯净过滤至关重要。一旦气体过滤失效或压力控制失衡，不仅会影响芯片生产质量，还可能引发安全隐患。深圳恒歌针对这一需求，在 TF 系列工艺气体专用过滤器中推出 T 型气体过滤器，凭借独特的结构设计与卓越性能，成为半导体高压力工艺场景下的安全保障利器。
1、联合阀帽设计，筑牢安全防线
T 型气体过滤器最显著的优势在于其联合阀帽设计，这一设计从根源上提升了过滤器在高压力环境下的安全性。在半导体制造中，部分工艺环节的气体工作压力极高，传统过滤器的阀帽结构在长期高压运行下，容易出现松动、渗漏等问题。而 T 型气体过滤器的联合阀帽通过一体化的结构设计，增强了阀帽与阀体的连接稳定性，有效避免了高压气体冲击导致的阀帽脱落或密封失效风险。同时，联合阀帽还能减少气体在阀帽区域的涡流，降低压力损耗，确保气体以稳定的压力和流速通过过滤环节，为后续工艺的稳定运行提供基础。
2、超高承压与耐温，适应严苛工况
作为专为半导体领域设计的过滤器，T 型气体过滤器在工作参数上展现出极强的适应性。其工作压力可达 414bar(6000psig)，远超普通工艺气体过滤器的承压能力，能够轻松应对半导体制造中如离子注入、高压化学气相沉积等高压工艺的气体过滤需求。在工作温度方面，该过滤器可在 – 28~+482℃的宽泛范围内稳定运行，无论是低温的气体预处理环节，还是高温的工艺反应环节，都能保持出色的过滤性能，不受温度波动影响。这种超强的耐温和承压特性，使其成为半导体严苛工况下的可靠选择。
3、可选配底部旁通道，提升操作灵活性
为进一步满足半导体生产过程中的多样化需求，T 型气体过滤器提供了底部旁通道的选配功能，这一设计极大地提升了操作的灵活性。在实际生产中，工作人员需要定期对工艺气体进行取样分析，以监测气体纯度是否符合生产要求;同时，过滤器长期使用后也需要进行清洗维护。若没有旁通道，取样和清洗时需暂停整个气路系统，影响生产效率。而底部旁通道可在不中断主气路运行的情况下，实现气体取样，确保生产过程的连续性;在清洗维护时，通过旁通道可对过滤器内部进行冲洗，减少停机时间，降低生产损失。
4、顶级材质与严格测试，保障纯净与可靠
T 型气体过滤器采用顶级 316L 不锈钢全材打造。316L 不锈钢具有优异的耐腐蚀性、耐高温性和机械强度，能够抵御半导体工艺气体中可能存在的腐蚀性成分侵蚀，延长过滤器使用寿命，同时避免金属材质污染气体。在质量检测方面，每一台 T 型气体过滤器都经过 100% 完整性测试和 100% 氨气检漏测试，确保过滤器无泄漏、过滤性能达标。此外，该过滤器还具备超高颗粒拦截率，能精准清除 UHP 超纯气流中的微粒，保障进入工艺环节的气体纯净度，为半导体芯片的高质量生产保驾护航。
在半导体高压力、高要求的工艺环境中，T 型气体过滤器以其联合阀帽的安全设计、出色的承压耐温性能、灵活的旁通道配置，以及可靠的材质与测试标准，成为工艺气体净化的重要保障。深圳恒歌通过对半导体行业需求的深度洞察，将安全与高效融入产品设计，让 T 型气体过滤器为半导体制造的稳定运行提供坚实支持。
发布时间 25-09-03