在半导体制造的离子注入、高压沉积等工艺环节，工艺气体需在高压状态下输送，这对过滤设备的耐压性能与密封可靠性提出了极高要求。若过滤器耐压不足，可能出现壳体破裂;若密封失效，则会导致高压气体泄露，不仅影响生产，还可能引发安全事故。深圳恒歌研发的高压双卡套过滤器直通过滤阀(属于TF系列工艺气体专用过滤器)，以“超强耐压”与“双重密封”为核心设计，专为半导体高压气体工艺打造，有效解决企业在高压气体过滤中面临的安全与稳定难题。
高压双卡套过滤器直通过滤阀的最大优势，在于其卓越的耐压性能。根据型号不同(如 T 型过滤器、W 型一体式过滤器)，该设备的工作压力可达 414bar (6000psig)，远超普通过滤器的耐压上限，完全能适配半导体高压气体工艺的需求。其耐压能力源于两大设计：一是整体采用 316L 不锈钢材质，这种材质本身具备高强度特性，能承受高压环境下的壳体应力，不会出现变形或破裂;二是优化的阀体结构设计，通过计算机模拟高压状态下的应力分布，对阀体薄弱部位进行强化处理，确保设备在 414bar 的高压下仍能保持结构稳定。这一特性让企业无需担忧高压气体对过滤器的损坏，可安心将其应用于离子注入等关键高压工艺环节。
双卡套密封设计是该设备保障高压气体无泄露的关键。相较于普通单卡套密封，双卡套设计通过 “前卡套” 与 “后卡套” 的双重贴合，实现对气路管道的紧密包裹 —— 前卡套负责与管道形成第一道密封，后卡套则通过挤压进一步强化密封效果，即便在高压气体冲击下，也能有效阻止气体渗透。这种密封方式无需焊接，安装时仅需通过螺母紧固双卡套，即可完成密封，既避免了焊接泄露的风险，又能在长期高压使用中保持密封性能稳定。对于半导体企业而言，这种双重密封设计意味着更高的生产安全性，能彻底杜绝因高压气体泄露引发的火灾、爆炸等安全隐患，保障车间人员与设备安全。
在过滤与气流稳定性上，高压双卡套过滤器直通过滤阀同样表现出色。它具备超高颗粒拦截率，能精准清除 UHP 超纯气流中的微粒杂质，避免因杂质在高压状态下加速撞击芯片，导致电路损坏。同时，其直通式流道设计大幅降低了压力损耗 —— 在高压气体输送过程中，压力损耗过大会导致气体流速不稳定，影响工艺参数精度，而该设备通过优化流道曲率与内部结构，将压力损耗控制在极低水平，确保高压气体以稳定的流速通过过滤器，为生产工艺提供稳定的气体供应。
此外，该设备还具备出色的环境适应性与便捷的维护特性。它能在 – 28~+482℃的温度范围内稳定工作，适配半导体生产中的高温工艺环境;同时耐腐蚀性强，可处理多种腐蚀性高压工艺气体，不会因气体腐蚀出现性能下降。在维护方面，部分型号(如 T 型过滤器)可选配底部旁通道，可用于气体取样与过滤器清洗 —— 无需拆卸设备，即可通过旁通道完成取样检测与冲洗维护，大幅减少停机时间，降低维护成本。每一台设备出厂前还经过 100% 完整性测试与 100% 氨气检漏测试，确保在高压状态下的密封性能与过滤性能达标，让企业使用更放心。
对于依赖高压气体工艺的半导体企业来说，高压双卡套过滤器直通过滤阀不仅是一款过滤设备，更是保障高压工艺安全、稳定运行的核心组件。它以超强的耐压性能、可靠的双重密封、高效的过滤效果，解决企业在高压气体过滤中的安全隐患与稳定难题，助力半导体高压工艺环节实现高效、安全生产。
发布时间 25-09-03