在半导体制造领域，电子气体如同维系生产运转的 “命脉”，广泛应用于光刻、刻蚀、气相沉积等关键制程环节。而纯度，正是决定电子气体能否满足生产需求的核心指标 —— 一旦气体中混入杂质与颗粒物，将直接影响晶圆及电子元器件的质量、性能、集成度与技术指标，更会大幅拉低产品成品率，给企业造成难以估量的经济损失。
1、电子气体中的杂质隐患，亟待精准解决
半导体制程中，电子气体面临的杂质威胁多样且复杂，主要包括：
水分：易与制程材料发生反应，影响元器件性能稳定性;
杂质气体：如氧气(O₂)、氮气(N₂)及各类惰性气体，会干扰反应过程，降低产品精度;
金属杂质：像铁(Fe)、镍(Ni)、钼(Mo)等金属离子，若附着在晶圆表面，可能导致电路短路或功能失效;
有机污染物：例如甲烷(CH₄)、非甲烷总烃(NMHC)等，会在制程中形成残留，影响产品洁净度;
酸碱物质：如二氧化硫(SO₂)、氯化氢(HCl)、氨气(NH₃)等，具有腐蚀性，可能损坏设备与晶圆;
特定化合物：如六甲基二硅氧烷(HMDSO)、四甲基硅烷(TMS)等，会干扰薄膜沉积等关键工艺。
随着半导体芯片制程不断向更先进节点突破，对电子气体的洁净度要求愈发严苛。唯有精准去除气体中的各类杂质，才能确保晶圆不受污染，稳定保障产品良品率。这一过程中，不仅要应对部分气体剧毒、腐蚀性强、易自燃的特性，还需结合气体在不同工艺场景的应用需求，匹配专属过滤方案 —— 恒歌气体过滤器，正是基于这一需求，为半导体行业提供专业解决方案的核心力量。
2、恒歌核心技术：高精密过滤与低阻创新双突破
针对半导体行业对气体纯度的超高要求，恒歌凭借多年技术积淀，研发出多款高性能气体过滤产品，实现两大关键突破：
超高过滤精度：恒歌气体过滤器可达到3nm 的极致过滤精度，能有效拦截气体中的超细微颗粒与微量杂质，将电子特气纯度提升至9N 级别(99.9999999%)，轻松应对不同电子特气在先进制程中的过滤需求;
超低压阻技术：依托深厚的金属膜烧结技术积累，恒歌通过全新烧结工艺创新，将金属烧结类过滤产品的压阻降至市场同类产品的1/2~1/3.在保证过滤效率的同时，显著降低气体流通阻力，延长产品使用寿命，为企业降低运维成本。
3、场景化解决方案，覆盖半导体全制程
恒歌深知半导体不同制程对气体流量、温度、压力的需求差异，针对性推出多系列适配产品，为各环节气体净化保驾护航：
高温高压场景：面对高温、动态高压的严苛应用环境，恒歌高温超纯气体过滤器凭借优异的耐高温、耐高压性能，成为该场景下的理想选择，确保气体在极端条件下仍保持高纯度;
大流量需求BF系列超纯气体过滤器专为大流量制程设计，可满足高产能生产线的气体供应需求，保障气体稳定输送且无杂质泄漏;
中流量场景：超纯气体过滤器兼顾过滤精度与流量效率，适配多数半导体常规制程，为生产提供可靠的气体净化支持;
中小流量需求：小巧灵活超纯气体过滤器，适合对空间与流量要求更精细的场景，如实验室研发或小批量精密制造，实现 “小而精” 的过滤效果。
4、布局新趋势：拓展气体处理全链条能力
在半导体气体处理需求不断升级的趋势下，恒歌不止步于过滤环节，更拓展至气体扩散、限流、纯化等全链条领域，打造一体化解决方案：
气体扩散器：恒歌DF系列扩散器专用过滤器，专为半导体真空腔体快速放气场景设计。其独特的滤材结构，在高效拦截颗粒的同时，能避免气体湍流对工艺室环境的干扰，适配加载互锁接口等复杂应用;
气体限流器：RF系列高纯度多孔金属限流器，可安装在压缩气体供应管线与气体分配歧管中。当遇到气体管线破裂、阀门或压力调节器故障时，能有效防止意外高气体流量，为设备与人员安全筑起防线;
气体纯化器：针对 POU(使用点)终端客户需求研发的OF系列在线式专用过滤器，通过科学的材料配比，可深度脱除惰性气体中的水、氧、一氧化碳、二氧化碳等杂质，确保气体在微电子行业应用中的最终纯度一致，稳定保障使用点位的气体洁净度。
5、严苛品控：从出厂到应用的全程保障
超纯气体过滤器的性能稳定性，离不开严格的质量控制体系与清洁程序。恒歌对每一款产品都执行全流程品控标准：出厂前需经过完备的性能测试、杂质检测与洁净处理，确保产品在完整性、洁净度上达到行业顶尖水平。从生产到交付，再到后续运维支持，恒歌始终以 “持续稳定的气体过滤服务” 为目标，助力客户提升半导体整体制程稳定性，降低因气体杂质导致的生产风险。
从核心过滤技术突破，到场景化方案覆盖，再到全链条能力拓展与严苛品控，恒歌气体过滤器正以专业实力，成为半导体洁净制造中不可或缺的 “纯度守护者”，为行业先进制程发展保驾护航。
发布时间 25-10-13