使用点气体专用过滤器_在线式专用气体过滤器

在半导体、LED、光伏及MEMS等高科技领域，气体的纯净度直接影响产品的性能和质量。0F系列在线式专用气体过滤器专为高流量电子级气体超纯净化设计，凭借其卓越的性能和先进的技术，成为这些行业气体过滤的首选。此外，该系列中的哈氏合金在线式气体过滤器更是针对特殊工艺需求，提供了更为可靠的解决方案。

专为高流量电子级气体超纯净化设计

0F系列在线式专用气体过滤器采用先进的过滤技术，过滤精度高达0.003μm，能够有效去除气体中的微小颗粒和杂质，确保气体的超高纯度。其紧凑的结构设计和高强度的材料选择，使其在高流量气体输送过程中表现出色，尤其适用于大宗气体及惰性气体的净化处理。

先进的结构设计与材质选择

0F系列过滤器采用全焊接316L不锈钢外壳，整体结构坚固耐用，不仅确保了与多种半导体工艺气体的兼容性，还能够适应高温、高压等复杂工艺条件。316L不锈钢粉末烧结滤芯材质，进一步提升了过滤器的性能和使用寿命。内表面经过特殊处理，进一步降低了气体输送过程中的污染风险。

产品特点

●  整体316L不锈钢结构：坚固耐用，耐腐蚀性强，确保长期稳定运行。

●  适合高温应用：能够适应高温工艺环境，满足半导体制造过程中的严格要求。

●  超高颗粒拦截率：过滤精度高达0.003μm，有效去除气体中的微小颗粒，确保气体超高纯度。

●  高流量、高强度、稳定可靠：紧凑的结构设计和高强度材料，确保高流量气体输送的稳定性和可靠性。

●  适用于多种工艺气体：与大宗气体及惰性气体兼容，满足不同工艺需求。

●  可选其他点位在线安装：灵活的安装方式，方便快捷，便于集成到现有系统中。

●  100%完整性测试：出厂前经过严格测试，确保过滤器的完整性和性能。

●  100%氨气检漏测试：严格的质量控制，确保过滤器的密封性和可靠性。

应用领域

0F系列在线式专用气体过滤器广泛应用于半导体、LED、光伏及MEMS等行业，尤其适用于以下场景：

●  大流量特种气体供应：为高纯度气体供应提供可靠的过滤保障。

●  超高纯度气棒：确保气体在输送过程中的超高纯度，满足高精度工艺需求。

●  阀歧管箱、气柜等工艺需求：为复杂的气体输送系统提供高效的过滤解决方案。

哈氏合金在线式气体过滤器

针对特殊工艺需求，0F系列还提供哈氏合金在线式气体过滤器。哈氏合金具有优异的耐腐蚀性和高温性能，能够满足更为苛刻的工艺条件。这种过滤器特别适用于需要高耐腐蚀性和高温稳定性的应用场景，如某些特殊化学气相沉积(CVD)工艺。

为高科技行业提供可靠的气体过滤解决方案

0F系列在线式专用气体过滤器凭借其卓越的性能、先进的技术以及灵活的定制化服务，成为半导体、LED、光伏及MEMS等行业气体过滤的不二之选。选择0F系列，就是选择高纯度、高效率和高可靠性的气体过滤解决方案，让我们共同助力高科技行业的高质量发展。