3纳米高纯气体面密封垫片|纳米级烧结滤片

3纳米高纯气体面密封垫片|纳米级颗粒防护，守护高纯气体系统安全运行

在半导体、集成电路、光伏、电子特气、生物制药等行业中，高纯气体系统对洁净度的要求越来越高。许多企业在实际运行过程中都会遇到类似问题：气路中的微小颗粒进入质量流量控制器(MFC)、精密阀门或压力调节器后，容易造成阀芯磨损、密封失效、流量偏差甚至设备停机，严重影响产品良率和生产稳定性。

恒歌3纳米高纯气体面密封垫片专为超高纯气体输送系统设计，在传统VCR面密封垫片结构基础上集成高精度烧结金属过滤层，实现密封与过滤双重功能。产品采用高纯度316L不锈钢材料制造，可在高温、高压、腐蚀性气体等复杂工况下长期稳定运行，为关键气体系统提供可靠的颗粒拦截保护。

相比传统过滤器需要额外安装空间和复杂管路改造，恒歌面密封过滤垫片可直接替换标准VCR垫片，无需增加管路长度和安装工序，在有限空间内即可实现纳米级颗粒过滤，有效降低系统污染风险。

产品参数

产品名称：3纳米高纯气体面密封垫片

产品类型：垫片式高纯气体过滤器(MF系列)

过滤精度：3nm～60μm(支持定制)

材质：316L不锈钢

密封方式：面密封

表面粗糙度：≤0.2μm

耐温范围：最高可达400℃

接口规格：1/8″、1/4″、3/8″、1/2″、3/4″、1″

适用介质：高纯气体、特种气体、惰性气体、工艺气体

定制服务：

●  过滤精度定制

●  尺寸规格定制

●  MFC专用过滤垫片定制

●  精密阀门专用过滤垫片定制

产品特点

1、纳米级过滤能力，拦截超微颗粒污染

恒歌采用自主烧结过滤技术，可实现3纳米至60微米范围内的精密过滤。对于高纯气体系统中的金属颗粒、管路杂质以及工艺污染物具有良好的拦截效果，从源头降低颗粒进入关键设备的风险。

2、密封与过滤一体化设计

传统气体过滤器往往需要额外安装空间，而面密封过滤垫片将过滤功能直接集成到垫片结构中，在保持原有密封性能的同时实现高效过滤，特别适用于空间受限的半导体气路系统。

3、高纯316L不锈钢材料

产品整体采用316L不锈钢制造，具有优异的耐腐蚀性能和机械强度，可适应多种腐蚀性气体及复杂工艺环境，减少长期使用过程中材料老化带来的风险。

4、耐高温、耐高压性能优异

最高可耐受400℃工作环境，在高温工艺气体输送过程中依然保持稳定过滤性能。针对不同工况需求，可提供高压型和低压型结构设计。

5、表面光洁度高，减少颗粒脱落

密封接触面经过精密加工处理，表面粗糙度可达≤0.2μm，有助于提高密封可靠性，减少安装过程中产生的颗粒污染。

6、安装便捷，降低改造成本

产品兼容标准面密封接口规格，可直接替换现有VCR垫片，无需焊接、切割或改造气路系统，大幅缩短设备维护和升级时间。

产品应用

1、半导体制造设备

在半导体生产过程中，气体洁净度直接影响晶圆良率。恒歌3纳米高纯气体面密封垫片广泛应用于气体分配系统、特气输送系统以及工艺设备前端，可有效保护MFC、减压阀、电磁阀等关键部件。

特别是在CVD、PVD、刻蚀、离子注入等工艺环节，可有效减少颗粒污染造成的缺陷风险。

2、生物制药与医药制造

用于高纯气体输送、无菌气体供应以及药品生产过程中的气体过滤，确保进入生产系统的气体洁净度符合工艺要求，降低产品污染风险，提高生产一致性。

3、光伏与电子材料行业

在电子级硅材料、光伏电池片以及电子特种材料生产过程中，对工艺气体纯度要求极高。过滤垫片能够持续拦截微粒污染物，保障产品品质稳定。

4、航空航天与高端装备制造

应用于高可靠性气体控制系统、先进材料制造以及精密工艺设备中，即使在高温、高压等苛刻环境下也能保持稳定过滤性能。

为什么选择恒歌

作为专注于烧结金属过滤技术研发与制造的生产厂家，恒歌长期服务于半导体、电子特气、生物制药、新能源等行业客户，积累了丰富的高纯气体过滤应用经验。

恒歌不仅提供标准化面密封过滤垫片产品，还能够根据客户设备结构、气体种类、压力参数和过滤要求进行定制开发，帮助客户获得更匹配的过滤解决方案。

选择恒歌，您获得的不仅是一片过滤垫片，更是一套针对高纯气体系统颗粒污染控制的专业解决方案。

无论是保护昂贵的质量流量控制器，延长精密阀门使用寿命，还是提升半导体工艺良率，恒歌3纳米高纯气体面密封垫片都能够为您的高纯气体系统提供长期、稳定、可靠的颗粒防护保障。