手套箱露点监测解决方案

手套箱为何需要监测露点？

水分是手套箱内最关键的 “污染物” 之一，其危害体现在：

影响材料性能：例如锂电池的电极材料（如正极三元材料、负极石墨）遇水会发生化学反应，导致活性降低；

破坏工艺稳定性：半导体芯片加工中，水汽可能导致光刻胶失效、薄膜生长缺陷；

引发安全风险：锂电池电解液（含六氟磷酸锂）遇水会分解产生 HF（氢氟酸）等腐蚀性气体，甚至引发胀气、短路；

降低产品良率：制药行业中，水分可能导致原料药潮解、变质，影响纯度和药效。

 

手套箱露点监测的关键要点

1、传感器安装位置：

例如,如果传感器装在一个手套箱,有三个不同的位置可以安装——每个给予不同的测量:

　　•位置A位于净化进口上。在此位置，传感器将确认进入手套箱的气体露点，但不会检测到任何泄漏手套箱本身，或工件释放的任何水分。

　　•位置B位于气体出口上。在此位置，传感器将暴露从手套箱中排出的气体，因此将检测到进入系统的水分（如进入/泄漏），或已由工件释放。

　　•位置C位于杂物箱中，在此位置，传感器将仅检测其附近的水分。泄漏未关闭可能无法检测到接近测量点的情况，因为该水分可以直接拉到出口。

注意：露点仪在手套箱的安装位置需根据具体使用场景选择，不同的手套箱，不同的应用，它的安装方式有所不同。

2、监测范围与精度：

不同行业对露点要求差异较大：

一般材料储存：露点≤-40℃;

锂电池电芯封装：露点≤-50℃(部分要求≤-60℃);

超高纯度金属加工：露点≤-80℃。

露点仪的精度需匹配工艺要求(如 ±1℃用于锂电池，±2℃用于普通储存)。

数据记录与报警：

监测系统需实时显示露点值，并具备历史数据存储功能(便于追溯工艺稳定性)。当露点超过设定阈值(如从 - 50℃升至 - 45℃)时，操作人员排查原因(如惰性气体纯度不足、箱体密封泄漏、干燥系统失效等)。