卡套式T型气体过滤器316L不锈钢高压高精度过滤阀三通过滤器

在半导体制造领域，工艺气体的纯净度直接影响产品的质量和性能。微粒污染可能导致晶圆表面缺陷，进而影响芯片的良品率和可靠性。因此，高效的气体过滤系统是确保半导体生产顺利进行的关键。TF系列工艺气体专用过滤器正是为满足这一需求而设计的，它能够精准清除UHP(超纯)气流中的微粒，保障生产过程的纯净度，是工艺气体净化的理想选择。

产品特点

1、整体316L不锈钢结构

卡套式T型气体过滤器采用顶级316L不锈钢材料，这种材料具有优异的耐腐蚀性和机械强度，能够在恶劣的工艺环境中保持稳定性能。316L不锈钢的低磁性和良好的焊接性能，使其成为制造高精度、高可靠性的气体过滤器的理想材料。此外，316L不锈钢的表面处理工艺能够有效减少颗粒脱落，进一步保障气体的纯净度。

2、高通量、低阻力

卡套式T型气体过滤器的设计注重气体流动的顺畅性。其内部结构经过优化，能够实现高通量气体的快速通过，同时保持极低的压力损耗。这对于半导体生产工艺中对气体流量和压力的严格要求至关重要。低阻力设计不仅提高了生产效率，还降低了能源消耗，符合现代制造业对节能环保的要求。

3、超高颗粒拦截率

卡套式T型气体过滤器的核心优势在于其卓越的微粒过滤效率。它能够精准清除UHP超纯气流中的微粒，拦截率高达99.999%以上，确保气体中微粒含量低于行业标准要求。这种高效的过滤性能得益于其先进的过滤介质和独特的过滤结构设计，能够有效捕捉并拦截气体中的微小颗粒，防止其进入生产环境。

4、耐高温、耐高压、耐腐蚀

半导体生产工艺中，气体过滤器需要承受高温、高压和腐蚀性气体的挑战。TF系列过滤器采用的316L不锈钢材料，使其具备了耐高温(最高可达200℃)、耐高压(最大工作压力可达10bar)和耐腐蚀的特性。这使得过滤器能够在多种工艺气体环境中稳定运行，无论是高纯氮气、氧气，还是腐蚀性较强的气体，如氯气、氢氟酸气体等，都能有效过滤，确保气体的纯净度。

5、适用于多种工艺气体

卡套式T型气体过滤器的设计充分考虑了半导体生产工艺的多样性。它适用于多种工艺气体，包括但不限于高纯氮气、氧气、氩气、氢气等，以及一些具有腐蚀性的气体，如氯气、氢氟酸气体等。这种广泛的适用性使得TF系列过滤器能够满足半导体生产中不同工艺环节对气体净化的需求。

6、适用于洁净室环境内制造、测试、包装

半导体生产对环境的洁净度要求极高，过滤阀三通过滤器完全符合洁净室环境的使用标准。其制造、测试和包装过程均在洁净室内完成，确保产品在出厂前就处于无污染状态。这种严格的生产流程保证了过滤器在安装和使用过程中不会引入新的污染源，进一步保障了半导体生产的纯净度。

7、100%完整性测试

为了确保过滤器的性能和可靠性，过滤阀三通过滤器在出厂前经过100%完整性测试。这意味着每一件产品都经过严格的质量检测，确保其过滤效率、密封性能和结构完整性符合最高标准。这种全面的质量控制措施为用户提供了可靠的保障，减少了因过滤器故障导致的生产中断风险。

8、100%氨气检漏测试

除了完整性测试外，过滤阀三通过滤器还经过100%氨气检漏测试。氨气是一种灵敏的检漏气体，能够检测出微小的泄漏点。通过这种严格的测试，TF系列过滤器能够确保在实际使用中不会发生气体泄漏，保障生产环境的安全性和气体的纯净度。

安装与使用

1、安装简便

过滤阀三通过滤器的安装过程非常简便，仅需进行气路对接和螺母紧固，无需复杂的焊接操作。这种设计不仅减少了安装时间和成本，还避免了焊接过程中可能引入的污染和泄漏风险。其紧凑的结构设计使得过滤器能够轻松安装在现有的工艺气路中，无需对现有设备进行大规模改造。

2、密封无忧

过滤阀三通过滤器采用先进的密封技术，确保在高压和高温条件下的密封性能。其密封部件采用高质量的耐腐蚀材料，能够有效防止气体泄漏。此外，过滤器的结构设计也经过优化，进一步增强了密封性能。这种双重保障使得用户在使用过程中无需担心泄漏问题，确保生产过程的安全和稳定。