T 型气体过滤器_三通颗粒过滤器

在半导体制造的某些关键环节，如高压离子注入、高压气相沉积等工艺中，气路系统需承受极高压力，此时过滤器的安全性与耐压性能成为核心考量。深圳恒歌 TF 系列中的 T 型气体过滤器，凭借联合阀帽设计与超强耐压能力，为高压力工艺场景提供安全、高效的气体净化保障。

T 型气体过滤器最显著的优势在于其卓越的耐压性能，工作压力可达 414bar(6000psig)，远超常规过滤器的耐压标准，同时能在 – 28~+482℃的宽温度范围内稳定运行，完全适配半导体高压力、高温度的工艺环境。联合阀帽设计则进一步提升了设备安全性，通过优化的结构设计增强了密封性能与抗冲击能力，有效避免高压状态下气体泄漏的风险，为生产安全筑牢防线。

材质方面，T 型气体过滤器同样采用整体 316L 不锈钢打造，具备优异的耐腐蚀性能，可兼容半导体制造中常用的各类工艺气体，如硅烷、氨气、氯化氢等，避免气体与过滤器材质发生化学反应，确保过滤后气体的纯度不受影响。其超高颗粒拦截率能精准清除 UHP 超纯气流中的微粒杂质，保障工艺气体洁净度，为半导体元件的高质量生产提供支持。

考虑到实际生产中的维护需求，T 型气体过滤器可选配底部旁通道，该设计可用于气路取样与清洗操作，无需拆卸过滤器即可完成日常检测与维护，大幅提升操作便利性，减少设备停机时间。此外，所有 T 形气体过滤器均经过 100% 完整性测试与 100% 氨气检漏测试，确保每一台设备都符合半导体行业的严苛标准。

对于追求高压力、高安全性的半导体生产企业而言，T 形气体过滤器不仅是工艺气体的净化设备，更是保障生产安全与产品质量的重要屏障。