超高纯气体扩散器

超高纯气体扩散器丨工业气体过滤器OEM制造商

恒歌DF系列扩散器专用过滤器、专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性、扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003um。独特的全316L不锈钢结构、不仅确保高效过滤、更巧妙的规避了湍流产生、对工艺室环境造成影响、有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计、灵活适应各类安装空间。

产品特点

● 不锈钢粉末烧结介质、可快速排气

● 整体316L不锈钢结构

● 减少工艺腔体排气时的湍流

● 适用于多种工艺气体

● 洁净室环境内制造、测试、包装

● 100%完整性测试通过

● 100%氨气泄露检测通过、耐高温、耐高压、耐腐蚀

● 防止微粒混入、帮助提高产品合格率可根据安装空间进行设计

应用行业

1、气体扩散系统:用于精密气体扩散，如气体流量控制和均匀分布

2、广泛应用于实验室、半导体制造、化学反应器等

3、化学反应器:在需要控制气体传输速率和均匀性的环境中，确保气体扩散均匀且无污染

4、高精度气体供给系统:如高纯度气体传输系统

恒歌扩散器过滤器有着多种规格型号、可提供OEM定制服务、可按照您的需求设计生产、为您的项目提供最专业的过滤解决方案!

 技术参数

常见问答：

Q1：这款过滤器主要适用于半导体制造的哪些具体环节?​

A1：主要适用于半导体制程中真空腔体快速放气环节，同时也可用于气体扩散系统(如精密气体流量控制、均匀分布)、化学反应器(需控制气体传输速率与均匀性)、高精度气体供给系统(如高纯度气体传输)等环节，尤其适配对洁净度、气流稳定性要求高的半导体工艺。​

Q2：过滤精度 0.003μm 是什么概念?能拦截哪些常见的污染物颗粒?​

A2：0.003μm 属于超高精度过滤级别，可拦截比空气分子大、且远超半导体工艺允许的微小污染物，包括但不限于：半导体制造中常见的金属氧化物颗粒(如氧化硅、氧化铝)、有机杂质颗粒、微小粉尘颗粒等，即使是肉眼不可见的超小颗粒也能有效拦截，保障腔体内部超纯环境。​

Q3：全 316L 不锈钢结构除了耐腐蚀，还有哪些针对半导体工艺的优势?​

A3：除耐腐蚀外，316L 不锈钢材质本身具备低金属离子溶出性，不会在使用过程中向工艺环境释放金属离子(如铁、铬等)，避免金属离子污染半导体晶圆;同时，该材质表面光滑易清洁，后续维护时可减少污染物附着，且耐高温特性适配半导体工艺中可能出现的高温环境(如部分腔体加热后放气环节)，不会因温度变化产生材质变形或性能衰减。​

Q4：快速排气功能会影响过滤精度吗?两者如何平衡?​

A4：不会影响。产品通过不锈钢粉末烧结介质实现 “快速排气 + 高精度过滤” 的平衡：该介质具备均匀的微孔结构，微孔尺寸精准匹配 0.003μm 过滤精度，同时微孔分布密集且连通性好，保证气体快速通过;设计时还优化了气流通道，减少气体流通阻力，在快速排气的同时，始终维持稳定的过滤效果，无需担心精度妥协。​

Q5：定制化设计需要提供哪些参数?定制周期大概多久?​

A5：定制需提供的核心参数包括：①安装空间尺寸(长、宽、高及预留接口位置);②适配的工艺气体类型(如是否为腐蚀性气体、是否有高温要求);③真空腔体的放气速率要求;④接口类型(如法兰接口、螺纹接口等)。定制周期需根据具体定制需求复杂度而定，常规定制需求一般为 1-2 周，复杂参数定制(如特殊材质拼接、异形结构)周期约 2-3 周，具体可与技术团队沟通确认。​

Q6：使用过程中需要定期更换过滤器吗?更换周期大概是多久?​

A6：无需频繁更换，具体更换周期需根据实际使用场景(如工艺气体污染程度、腔体放气频率)而定：若用于高洁净度、低污染的工艺环境，且定期进行完整性检测无异常，一般可使用 6-12 个月;若工艺环境污染物较多、使用频率高，建议每 3-6 个月进行一次完整性检测，当检测结果显示过滤效率下降或出现泄露风险时，再进行更换，更换时可联系厂家提供专业指导。​

Q7：氨气泄露检测通过，是否意味着也能适配其他腐蚀性气体?​

A7：是的。氨气是典型的强腐蚀性气体，100% 氨气泄露检测通过，证明产品的密封结构、材质耐腐蚀性可应对强腐蚀环境;对于其他常见的半导体工艺腐蚀性气体(如氯气、氟化氢等，需提前告知气体类型)，只要在 316L 不锈钢材质的耐蚀范围内，产品均可适配，且能保证无泄露，具体可提供气体类型给技术团队确认适配性。​

如果您正在为半导体制程中真空腔体快速放气的洁净度、气流稳定性发愁，或是需要适配气体扩散系统、化学反应器的高精度过滤方案，恒歌 DF 系列扩散器专用过滤器随时等候您的咨询!​

我们的过滤器不仅拥有0.003μm 超高精度过滤能力，能从根源守护工艺洁净度、提升产品合格率;更以全 316L 不锈钢结构规避湍流风险，搭配快速排气设计与洁净室全流程管控，兼顾效率与可靠性，还可根据您的安装空间、工艺气体类型提供定制化方案。每台产品均通过 100% 完整性与氨气泄露双重检测，质量有绝对保障。​

无论您想了解具体适配场景、定制参数细节，还是需要技术团队协助评估工艺需求，都可随时通过官网留言、客服热线或企业微信联系我们。专业顾问将 1 对 1 为您解答疑问，提供适配方案，助力您的半导体工艺更稳定、更高效!