超高纯气体扩散器

优异的化学兼容性、适用多种工艺气体

结合过滤器的颗粒拦截，减少工艺腔体排气时的湍流
专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。
结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，过滤精度达3nm。
独特的滤材结构设计，在保证过滤效率的同时，也避免引起湍流，对工艺室环境造成影响，防止吹起颗粒或甚至吹起硅片。

超高纯气体扩散器特点

1.不锈钢粉末烧结介质，可快速排气
2.整体316L不绣钢结构
3.减少工艺腔体排气时的湍流
4.适用于多种工艺气体
5.100%6完整性测试通过
6.100%6氦气泄露检测道过
7.耐高温、耐高压、耐腐蚀。防止敬粒混入，帮助提高产品合格率
8.可根据安装空同进行设计
9.过滤精度高
10.均匀气体扩散

应用行业

1、气体扩散系统:用于精密气体扩散，如气体流量控制和均匀分布，广泛应用
2、于实验室、半导体制造、化学反应器等
3、化学反应器:在需要控制气体传输速率和均匀性的环境中，确保气体扩散均匀且无污染
4、高精度气体供给系统:如高纯度气体传输系统
5、半导体制程中真空腔体快速放气