真空系统过滤器

 

真空系统气体过滤器丨工业气体过滤器OEM制造商

 

KF 系列真空系统气体过滤器，是专为真空系统设计的高效过滤设备，具备易于安装的特性，能有效实现清洁、快速且低湍流的回填过程，助力提升产品产量与设备吞吐量。在规范安装及操作条件下，可确保产品完整性达 3.000.000 次循环，为真空系统的稳定运行提供长期可靠保障。其核心适配场景包括半导体设备接口(如 CVD、PVD、Etch、Epi)及各类真空室(装载锁、传输、冷却、工艺腔体)的通风，尤其适合短时间内传递大量气体流的工况，同时也可用于真空腔体快速放气、真空泵配套及洁净空气环境内相关需求。​

 

产品特点

 

● 减少工艺腔体排气时的湍流

● 适用于多种工艺气体

● 洁净室环境内制造、测试、包装

● 适合短时间内传递大量气体流的场合

● 100% 完整性测试通过

● 不锈钢多孔烧结滤片:采用高精度不锈钢烧结滤芯，提供高效气体过滤，确保真空系统中的气体纯净

● 耐高温、耐腐蚀:适应高温、腐蚀性环境，满足真空系统对滤芯材料的要求

● 高过滤精度:能够过滤纳米/微米级别的颗粒物，保证系统稳定

 

应用领域

 

1、真空系统领域：广泛应用于真空泵系统、真空炉、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空蒸发设备等，为各类真空设备提供核心过滤支持，维护设备性能。​

2、实验室设备领域：适配真空过滤、真空干燥、真空蒸发等实验设备，满足实验室对高效过滤与真空保持的高精度需求，保障实验数据准确性。​

3、半导体制造领域：用于半导体真空加工和薄膜沉积过程中，通过高洁净、高精度过滤，确保气体洁净度，避免杂质影响半导体产品质量，助力半导体制造工艺稳定推进。

 

 

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技术参数

 

滤芯材质     316L不锈钢粉末烧结 壳体材质   316L不锈钢
最大工作压差 6.89bar 0-ring 氟橡胶(可选)
最高操作温度 3bar 工作寿命 ≥100,000cycles
最高使用温度  100°C with 0-ring
400°C with no 0-ring		 下游洁净度 ≤0.03particles/liter
@>0.01ym rate flow

 

 

常见问答：

 

1. 该过滤器能兼容哪些类型的工艺气体?是否需要针对不同气体更换过滤器?​

过滤器具备广泛的工艺气体兼容性，可适配多种常见工艺气体(如惰性气体、反应性气体等)，无需针对不同气体单独更换过滤器，能有效降低设备适配复杂度，为用户节省更换成本与时间，特别适合需要处理多类气体的真空系统制造商、气体供应商。​

 

2. 过滤器的安装难度如何?是否需要专业人员或特殊工具?​

过滤器采用适配真空系统常规接口的设计，安装流程简单，无需专业人员或特殊工具，用户可按照安装手册快速完成组装，能大幅减少现场安装时间与人工成本，尤其适合科研机构、真空系统制造商的快速设备组装需求。​

 

3. 如何判断过滤器需要更换?更换时是否会影响真空系统的正常运行?​

可通过两个维度判断更换时机：① 观察真空系统压力稳定性，若出现压力异常波动且排除其他故障，可能是滤芯堵塞;② 检测气体纯度，若微米级颗粒物超标，需更换滤芯。更换过程简单快速，且可提前准备备用过滤器，短暂停机即可完成更换，对真空系统整体运行影响极小，保障生产或实验连续性。​

 

4. 对于半导体制造中的 CVD、PVD 等工艺，过滤器能否满足其高洁净度要求?​

完全可以。该过滤器在洁净室环境内完成全流程生产，且采用微米级精度的不锈钢烧结滤片，100% 通过完整性测试，能彻底过滤气体中的杂质，同时具备耐高温、耐腐蚀特性，可稳定适配 CVD、PVD、Etch、Epi 等半导体工艺，保障薄膜沉积等过程的高洁净度需求。​

 

5. 过滤器在真空炉等高温环境下的使用温度范围是多少?​

过滤器的不锈钢滤芯与密封结构均经过高温耐受性设计，常规可适应 - 20℃至 400℃的温度范围(具体可根据用户高温场景需求定制耐高温版本)，能稳定应对真空炉等高温设备的运行环境，且不会因高温出现过滤性能下降或密封失效问题。​

 

6. 定制过滤器需要提供哪些参数?定制周期大概多久?​

定制时需提供以下核心参数：① 适配设备型号、接口尺寸;② 所需处理的气体类型、流量;③ 运行环境温度、腐蚀性等级;④ 特殊性能要求(如更高过滤精度、耐高温等)。常规定制周期为 7-15 个工作日，具体可根据定制复杂度调整，能快速响应真空系统制造商、科研机构的个性化需求。​

 

7. 过滤器的密封性如何保障?安装后若出现漏气问题该如何处理?​

过滤器采用特殊密封结构设计，出厂前会经过严格的密封性测试，确保符合真空系统密封标准;若安装后出现漏气，可先检查接口安装是否到位(如卡环是否锁紧)，若问题仍未解决，可联系售后团队，我们会提供专业技术指导，必要时可提供上门检修服务，保障系统密封性。​

 

8. 该过滤器能否用于实验室的小型真空设备?与工业级设备的适配是否有差异?​

过滤器兼具工业级与实验室级设备的适配性，针对实验室小型真空设备(如小型真空过滤、干燥设备)，可提供小尺寸定制版本，安装接口与过滤性能均能精准匹配;与工业级设备的适配差异主要体现在尺寸与流量参数上，核心的过滤精度、密封性、耐候性等性能标准完全一致，能满足科研机构的实验需求。

 

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