微电子半导体过滤器_电子半导体过滤器
在半导体制造过程中,污染控制是至关重要的环节,微小的污染物都可能影响产品质量和性能。恒歌半导体过滤器凭借先进的技术和可靠的性能,成为半导体行业过滤领域的优选。我们提供的微电子半导体过滤器、电子半导体过滤器等系列产品,覆盖半导体制造多个关键环节,为工艺气体、流体等的洁净度保驾护航。
核心优势
恒歌半导体气体过滤器作为半导体行业高纯 / 超纯气体过滤系统的首选,具备多重优势,能够满足半导体制造的严苛需求:
● 先进的过滤与分离能力:属于适用于半导体制造的先进过滤和分离解决方案,采用先进的纳米拦截功能,可精准拦截微小颗粒及杂质,保障过滤效果,助力实现产品最佳性能,同时减少因污染导致的材料浪费和返工,节省成本。
● 稳定耐用的结构设计:采用整体 316L 不锈钢结构,这一设计让过滤器具备耐高温、耐高压、耐腐蚀的特性,非常适合半导体制造中的高温和高压力应用场景,能在复杂环境下保持稳定运行。
● 灵活的定制与适配:有着多种规格型号,可提供 OEM 定制服务,能按照不同项目的需求设计生产,为客户的项目提供最专业的过滤解决方案,更好地适配各种生产工艺。
产品特点及规格
恒歌半导体过滤器在性能和规格上精心设计,以满足半导体行业的高标准要求,具体如下:
● 耐受性能优异:耐高温、耐高压、耐腐蚀,适应半导体制造中的复杂工况。
● 结构材质可靠:整体采用 316L 不锈钢结构,保证过滤器的稳定性和使用寿命。
● 适用范围广泛:适用于多种工艺气体,为半导体制造中的各类气体处理提供支持。
● 流通性能良好:高通量、低阻力,确保气体等流体在过滤过程中保持高效流通,不影响生产效率。
● 拦截效果突出:超高颗粒拦截效率,内置 0.003-100 微米过滤器,可有效去除微小颗粒。
● 密封性能达标:经过 100% 氨气检漏测试,确保过滤器无泄漏,避免污染物进入已过滤的流体中。
● 净化效果显著:出口气体各杂质含量小于 5ppb,满足半导体制造对气体洁净度的严格要求。
● 配置选择多样:可配置两阀、三阀和四阀等组件,灵活适配不同的系统连接需求。
行业应用
恒歌半导体行业过滤器可广泛应用于半导体制造的多个环节,如集成电路、数据存储、平板显示和光伏产品等的生产过程。在工艺气体处理、高纯流体过滤等场景中,有效控制污染,减少因污染导致的缺陷,提高产品良率,为半导体行业的高质量生产提供有力支持。
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