F型直通式过滤器_高纯工艺气体过滤器

在半导体洁净室有限的安装空间内，设备的体积与性能往往需要精妙平衡。深圳恒歌推出的 F 型直通式过滤器，以 “紧凑设计 + 高效净化” 的双重优势，成为半导体工艺气路中的理想选择，完美适配空间受限的生产场景。​

作为 TF 系列的重要成员，F 型直通式过滤器延续了整体 316L 不锈钢结构的高品质基因。这种材质赋予过滤器出色的耐高温（-28~+482℃）、耐高压（可达 207bar/3000psig）与耐腐蚀性能，无论是面对半导体制造中的蚀刻气体、沉积气体，还是其他腐蚀性工艺介质，都能保持稳定运行，避免材质老化带来的净化失效风险。​

在核心过滤性能上，F 型直通式过滤器具备超高颗粒拦截率，能精准捕捉 UHP 超纯气流中的微小杂质，确保进入生产设备的气体纯净度达标，从源头规避微粒对半导体晶圆的污染。同时，其高通量、低阻力的设计特点，可在高效过滤的同时减少气体流动损耗，保障气路系统的稳定压力与流量，不影响生产节拍。​

安装便捷性是 F 型直通式过滤器的另一大亮点。无需复杂焊接，仅需通过气路对接与螺母紧固即可完成安装，既降低了安装过程中引入杂质的风险，又能快速完成设备更换与维护，减少停机时间。此外，所有 F 型直通式过滤器均经过 100% 完整性测试与 100% 氨气检漏测试，出厂品质有保障（注：F 型直通式过滤面积规格 2 不提供滤网式滤芯）。​

无论是半导体芯片制造的洁净室气路，还是精密电子元件生产的工艺气体处理，F 型直通式过滤器都能以紧凑的结构、可靠的性能，为工艺气体净化提供高效解决方案。​