F 型直通式过滤器_卡套式气体过滤器

TF 系列 F 型直通式过滤器，作为卡套式直通过滤器的代表，在半导体领域的工艺气体净化中展现出独特优势。专为精准清除 UHP 超纯气流微粒设计，它采用顶级 316L 不锈钢全材打造，结构紧凑轻盈，能大幅节省安装空间，完美适配洁净室等空间受限的环境。​

安装过程简便高效，仅需气路对接与螺母紧固，避免了焊接带来的风险，确保密封无忧，充分保障生产纯净度。其卓越的微粒过滤效率，让它在超纯氢气、氮气、氧气管道过滤中表现出色。​

产品核心特点：​

● 卡套式直通设计，节省安装空间​

● 全 316L 不锈钢，耐腐耐高温​

● 安装便捷，无焊接风险​

● 超高颗粒拦截率，保障气体纯净​

● 适配多种超纯工艺气体​

该系列工作压力可达 207bar(3000psig)，工作温度范围为 – 28~+482℃，经过 100% 完整性测试和氨气检漏测试，是终端洁净工艺气体过滤器中空间优化与过滤效能兼备的优质选择。​