超纯气流微粒直通W型一体式过滤器

半导体制造对工艺气体的纯度要求苛刻，任何微小的微粒杂质都可能导致晶圆报废，而传统过滤器往往存在安装复杂、密封风险等问题。深圳恒歌研发的超纯气流微粒直通一体式过滤器，以 “集成化设计 + 超纯净化” 为核心，为半导体行业提供高效、可靠的工艺气体处理方案。

该过滤器采用整体 316L 不锈钢结构，从阀体到过滤元件均选用高品质材质，不仅具备出色的耐高温(-28~+482℃)、耐高压(部分型号可达 414bar/6000psig)性能，还能有效抵御各类腐蚀性工艺气体的侵蚀，确保长期使用过程中材质不析出杂质，保障过滤后气体的超纯品质。

在净化性能上，超纯气流微粒直通一体式过滤器拥有超高颗粒拦截率，能精准捕捉 UHP 超纯气流中粒径小至 0.5μm 的微粒杂质(根据过滤元件规格而定)，彻底杜绝微粒对半导体生产的影响。同时，其直通式结构设计实现了高通量、低阻力的气体流动，大幅降低压力损耗，确保气路系统流量稳定，不影响生产效率。

一体式设计带来的不仅是性能优势，更简化了安装流程。无需复杂的多部件组装，仅需通过气路对接与螺母紧固即可完成安装，避免了焊接操作带来的密封风险与杂质引入问题，同时减少了安装时间与人工成本。部分型号(如 W 型)采用全焊接结构，进一步杜绝泄漏隐患，满足半导体洁净室的严苛密封要求。

所有超纯气流微粒直通一体式过滤器均经过 100% 完整性测试与 100% 氨气检漏测试，出厂前严格把控品质。无论是半导体芯片制造、LED 外延片生产，还是其他对气体纯度要求极高的精密电子行业，该过滤器都能以高效的净化性能与可靠的运行表现，成为工艺气体净化的核心设备。