垫片式高纯气体过滤器

垫片式过滤器是一种紧凑的全金属过滤器，可适用于气体分配系统中标准的 1/4 ″ ，3/8 ″和 1/2 ″ VCR 垫圈。

垫片式过滤器可用于保护敏感气体组件

例如质量流量控制器或阀门，在高达 400℃的应用中免受颗粒损坏，延长其使用寿命，避免密封阀损坏造成泄露。

垫片式过滤器是防止污染的经济保障，可以避免对关键部件产生不利影响。

定制化服务:

支持特定尺寸、规格和特殊气体工况的需求;

恒歌VCR垫片式过滤器特点

1.整体316L不锈钢结构

2.适用于高压的系统管路

3.可以作为表面密封的过滤器，所以不需要能外的工作(切割/接管道用于过滤安装)

3.耐高温、耐高压、耐腐蚀

4.能有效阻隔微粒侵袭，守护敏感气体组件

您的VCR过滤垫片可能会用到以下地方

1、半导体制造设备:光刻机、化学气相沉积(CVD)、物理气相沅积(PVD)等设备的高纯气体管路连接

2、气体控制面板(IGS):用于高纯气体管路中的颗粒过滤和密封

3、医疗设备:气体输送系统中的过滤与密封

4、工业气体输送系统:确保高纯度气体在连接点处的洁净和密封

5、实验室设备:气相色谱仪、质谱仪等对气体纯度有严格要求的设备

半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤，满足阀歧管箱、气柜。