垫片式高纯气体过滤器

VCR金属垫片式过滤器OEM制造商

 

金属垫片式过滤器全金属材质、专为半导体气体分配系统设计、兼容1/4”、3/8”及1/2”VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装、是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下、能有效阻隔微粒侵袭、守护敏感气体组件、延长设备寿命、预防因微粒污染导致的泄露风险。可选择低压型或高压型、也可在现有配管上安装、为精密设备提供经济高效的防污屏障。

 

产品特点

1、整体316L不锈钢结构

3、可以作为表面密封的过滤器，所以不需要能外的工作(切割/接管道用于过滤安装)

3、耐高温、耐高压、耐腐蚀

4、能有效阻隔微粒侵袭，守护敏感气体组件

5、定制化服务:支持特定尺寸、规格和特殊气体工况的需求

 

无论您需适配半导体气体分配系统，为 MFC 模块 / 精密阀门找防微粒屏障，还是升级现有配管防污方案 —— 我们随时等候咨询！

 

您可电话或微信直连技术顾问，1 对 1 获取产品推荐与支持。我们的金属垫片式过滤器，全金属材质、兼容 1/4”/3/8”/1/2”VCR 接口，垫片式便捷安装，400℃高温下阻微粒，还可选低压 / 高压型，满足多样需求。​

 

依托 316L 不锈钢结构、耐温耐压耐腐特性及定制服务，我们已服务多领域，更以透明价格、及时售后保障采购无忧。我们不止是供应商，更愿做您信赖的伙伴，共护设备稳定运行!

 

产品类型

 

1、适用于高压系统的管路

最大正向压差：

1/2”：2.9Mpa.

1/4”：10.4Mpa

流量范围：0~300slpm

 

2、适用于低压的系统管路（VCR过滤垫片）

最大使用压力：0.98Mpa

流量范围：0~100slpm

 

您的VCR过滤垫片可能会用到以下地方：

 

1、半导体制造设备:光刻机、化学气相沉积(CVD)、物理气相沅积(PVD)等设备的高纯气体管路连接

2、气体控制面板(IGS):用于高纯气体管路中的颗粒过滤和密封

3、医疗设备:气体输送系统中的过滤与密封

4、工业气体输送系统:确保高纯度气体在连接点处的洁净和密封

5、实验室设备:气相色谱仪、质谱仪等对气体纯度有严格要求的设备

半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤，满足阀歧管箱、气柜。

 

按定制化需求分类​

 

1. 标准规格系列​

特点：默认 1/4”、3/8”、1/2”VCR 接口，316L 不锈钢材质，常规过滤精度，现货供应​

优势：交付周期短，无需额外设计，满足通用场景需求​

 

2. 定制化系列​

定制范围：​

尺寸定制：非标准接口尺寸(如特殊英寸 / 毫米规格)​

规格定制：特殊过滤精度(亚微米级定制)、耐高温升级(超 400℃场景)​

工况定制：针对强腐蚀性气体、易燃易爆气体的材质优化(如特殊合金材质)​

适用场景：非标准设备接口、极端工况(高腐蚀 / 超高温 / 易燃易爆气体)、特殊工艺需求​

优势：完全匹配客户专属设备与工况，解决非标场景痛点​。

 

常见问答

 

问：这款过滤器能适配我们现有的半导体气体分配系统吗?​

答：可以。过滤器专为半导体气体分配系统设计，兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 标准垫圈接口，且支持在现有配管上直接安装，无需改造管路，可无缝对接您的系统。​

 

问：安装时需要切割或焊接管道吗?会不会影响系统洁净度?​

答：无需切割或焊接。过滤器采用垫片式表面密封设计，直接通过 VCR 接口连接，减少现场施工步骤，避免施工过程中产生的杂质污染高纯气体系统，保障洁净度。​

 

问：我们的工艺温度达到 380℃，这款过滤器能稳定工作吗?​

答：可以。过滤器耐高温达 400℃，且整体采用 316L 不锈钢结构，在 380℃的工艺温度下能保持稳定过滤性能，不会因高温导致材质变形或密封失效。​

 

问：针对强腐蚀性的特种气体，过滤器的材质能耐受吗?​

答：可以。过滤器本身具备耐腐蚀特性，同时支持定制化服务，可针对强腐蚀性气体优化材质(如特殊合金)，确保在腐蚀性工况下长期稳定使用，您可告知具体气体类型，我们将提供适配方案。​

 

问：过滤器的过滤精度是多少?能满足半导体行业的微粒控制要求吗?​

答：过滤器可精准阻隔微米级及亚微米级微粒(具体精度可根据需求定制)，能有效避免微粒污染 MFC、精密阀门等组件，完全契合半导体行业对高纯气体输送的微粒控制标准，保障工艺稳定性。​

 

问：如果我们需要非标准尺寸的过滤器，能定制吗?周期大概多久?​

答：可以定制。我们支持特定尺寸、规格及特殊工况的定制服务，定制周期需根据您的具体需求(如尺寸复杂度、材质要求)确定，一般常规定制款 7-15 个工作日，特殊复杂定制可与技术顾问沟通确认。

 

我们的 VCR 金属垫片式过滤器，作为专为高纯工艺场景设计的过滤组件，能有效降低关键工艺气流中的颗粒物与杂质含量，为半导体气体分配、IGS 气体控制等系统筑牢洁净防线!​

 

无论是守护 MFC 模块、精密阀门免受微粒侵袭，还是为光刻机、CVD/PVD 设备的高纯管路减少杂质干扰，它都能凭借全金属结构、400℃耐高温特性及 1/4”/3/8”/1/2”VCR 标准接口适配性，无缝融入您的现有系统 —— 垫片式安装无需额外改管，低压 / 高压型可选适配多样工况，更支持定制化方案应对特殊气体需求。​

 

欢迎联系我们的工程师，为您 1 对 1 分析工况、优化过滤方案，通过减少杂质导致的系统缺陷，助力您实现最佳的现场应用效果，保障工艺稳定与设备长效运行!​